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第 1O卷 第 1期 金 属功能材料 Vo1.10、 NO.1
2003年 2月 MetallicFunctionalMaterials February, 2003
SmFe纳米颗粒磁性能研究
李晓园 祝要 民 宋晓平 陈 强
(西安交通大学 西安 710049)
摘 要 磁性纳米颗粒 由于晶粒尺寸处于纳米级,可 以做到完全单畴,很多研究表 明这种结构下其磁性能与 同样
相成分的块体材料相 比,具有盟显的不 同。本文采用磁控溅射方法得到非晶SmFe薄膜 ,通过时效处理后 ,得到均
匀分布在铜基体上 的磁性纳米颗粒 。研究表明,颗粒磁性能随着晶粒尺寸变化而发生明显的变化 。
关键词 磁控溅射 磁性能 纳米颗粒 磁性薄膜
中图分类号 TG139 .7 文献标识码 A 文章编号 1005—8192(2003)01—0013—03
M agneticPropertiesofSmFeNanocrystal
LiXiaoyuan,ZhuYaomin,SongXiaoping,ChenQiang
(XianJiaotongUniversity,Xian710049)
ABSTRACT Magneticnanocrystalparticlescanbeeasilymadeintosingledomainbecauseoftheresize,Manyresearches
haveprovedthattheirmagneticproperties areverydifferentfrom theblockswiththesamephases,Magneticcontrolled
sputteringwereusedtoproduceamorphousSmFefilm ,andwithfurtherannealing,nanocrytallineparticles diffusedinCu
baseareobtained.Studies ontheseparticles indicatethattheirmagneticproperties varywiththecrystalsize.
KEY WORDS sputtering,magneticproperty,nanocrystal,magneticfilm
电流 100mA,基体材料为铜。为 了控制合金成分 ,
1 刖 罱
采用钐靶和铁靶轮流溅射方式,得到多层分布的纳
单 畴思想是研究先进磁性材料 的基本方法之 米薄膜并在钐和铁膜之问溅射一定厚度的铜起隔离
一 , 通过研究单 畴粒子磁性行为 ,可以得到很多在块 作用 ,防止层与层之间的SmFe合金相在 回火时连
体多畴材料中难以得到的性能。自从人们发现单畴 接成大块。其后 ,通过时效处理使原子进行短程扩
粒子磁畴尺寸与矫顽力之间的变化关系之后 ,通过 散得到球化的、弥散分布 的磁性相。采用这种方式
气相沉积、熔体快淬、溅射等方式得到了多种纳米尺 的优点是可以通过控制溅射时间精确控制合金成分
度的薄膜和颗粒材料 ,对这些纳米磁性材料 的研究 (参见表 1),与采用SmFe合金直接溅射 (复合溅射)
导致 了诸如 R.Fe、R2Fe。4B等多种磁性材料 的出 的工艺相 比,排除了由于选择溅射等因素造成的合
现[】【,这些材料不论是在硬磁、软磁还 是磁记录、 金实际成分与名义成分不相符问题。
磁制冷等方面都表现出优异的性能。本文从上述思 时效处理在真空 回火炉 内进行 ,时效温度为
想出发 ,采用磁控溅射方法得到在非磁性材
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