3基于光学微环的化学传感器-WelcometoSPMResearch.pdf

光 电 子 ·激 光 第 20 卷 第 9 期 　2009 年 9 月 　　　　　　 Vol . 20 No . 9 　Sep . 2009 Journal of Optoelectronics ·Laser 　　　　　　　　 基于光学微环的化学传感器 2 ,3 3 1 ,4 3 陈　曜 , 李振宇 , 周治平 , 于　军 ( ( ) 1. 区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室 北京大学 ,北京 100871 ; 2. 广西大学物理科学与工程 技术学院,广西 南宁 530004 ; 3. 华中科技大学电子科学与技术系 ,湖北 武汉 430074 ; 4 . 美国乔治亚理工学院电 子与计算机工程系 ,美国 亚特兰大 30332) μ μ 摘要 :以SiN 为材料 ,采用与 CMOS 工艺相兼容的技术 ,制备了波导宽度为 1 m ,半径为400 m 的 SiN 光学微 ( ) ( ) 环。经测量 ,其品质因数 Q 值 高达 20 000 , 自由光谱范围 FS R 为0. 5 nm 。提出了采用光学微环传感器、单波 长光源和光功率计对待测物进行测量的方案。实验证明,该方案与传统的采用光谱仪测量谐振峰值漂移的方 法相比,可以取得更高的系统探测灵敏度 。最后 ,利用微环传感器对葡萄糖溶液浓度进行测量 ,灵敏度高达 - 4 ( ) 10 折射率单元 RIU ,证明了该传感器可以应用于溶液检测领域。 关键词 :微环传感器; 品质因数; 测试 ( ) 中图分类号: TN256 　　文献标识码 :A 　　文章编号 2009 Chemical sensor based on microring resonators CHEN Yao2 ,3 , L I Zhenyu3 , ZHOU Zhiping1 ,4 , YU J un3 (1. State Key Laboratory on Advanced Optical Communication Systems and Networks ,Peking University ,Beijing 100871 ,China ; 2. College of Physics Science Technology , Guangxi University ,Nanning ,530004 ,China ; 3. De partment of Electronic Science Technology , Huazhong University of Science and Technology