MEMS器件的计算机辅助设计与模拟X.pdf

( ) Journal of Mechanical Strength 机械强度 2001 ,23 4 :488～494 MEMS 器件的计算机辅助设计与模拟 COMPUTERAID ED D ESIGN AND SIMULATION FOR MEMS D EVICES 1 ,2 2 2 3 2 孙克豪 　　钱 　劲 　　张立宪 　　余同希 　　赵亚溥 ( 1. 南京航空航天大学 航空宇航学院 ,南京 2 10016) (2 . 中国科学院力学研究所 非线性力学国家重点实验室 ,北京 100080) (3 . 香港科技大学 机械工程系 ,香港九龙清水湾) 1 ,2 1 1 3 1 SUN Kehao 　 QIAN J in 　ZHAN G Lixian 　YU Tongxi 　ZHAO Yap u ( 1. IAA , N anj ing University of A eronautics and Astronautics , N anj ing 2 10016 , China) (2 . State Key L aboratory of N onlinear Mechanics , Institute of Mechanics , CAS , B eij ing 100080 , China) (3 . Dep artment of Mechanical Engineering , Hong Kong University of Science and Technology , Hong Kong , China) 摘要 　概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程 ,分析了MEMS CAD 系统所应具有的主要内容和 系统模拟中的关键问题 ,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米纳米 镊子实例 ,分析了模块化的 CAD 软件结构形式以及所用 MEMS 材料的数据库建立和应用连接 ,所提出并采用的开发方 式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟 。 关键词 　微电子机械系统 　计算机辅助设计 　模拟 　数据库 Abstract 　The ComputerAided Design (CAD) and simulation of microelectromechanical systems is summarized and the primary contents and key problems with the MEMS simulation are also discussed. Various simulating systems are classified according their construction and application range . Combined with the instances of electrostatic micromotor and micronano tweezers , the modul