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2017-09-03 发布于重庆
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第卷第期年月物理学报 !# 6 ## 6 ，，， :OP 0!# NO 06 Q-PR ## （） ###5%’#F##F!# #6 F %%5#! I9JI 83KLM9I LMNM9I !## 9S.* 0 8SRG 0 LOT 0 %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% !#$%’( 单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理! 池凌飞林揆训姚若河林璇英余楚迎余云鹏（汕头大学物理系，汕头 !!#$% ）（年月日收到；年月日收到修改稿） ### # ! ### ’ 探针是诊断等离子体参数的重要手段报道了在氩气射顿（）辉光放电等离子体中使用调谐 ()*+,-./ 0 % 1!$234 单探针进行诊断，对探针特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理，而后求二次微商在相同的放电 !5 0 条件下，使用自行设计的微分电路，对探针特性二次微商进行在线测量0 这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合0 关键词：探针，二次微商，数值滤波，微分电路 ()*+,-./ ：，， )*++ !6# !7#3 #$# （），（） B # @ 引言式中为暴露在等离子体中的探针表面积，和 $ ! @ @ 分别为探针的偏置电压和探针所收集的电流，为 ? 近年来，非晶硅薄膜在太阳能电池、薄膜晶 #