用等离子体方法以及化学处理对Ti-O薄膜进行活化改性的研究.pdfVIP

1816 功 能 材 料 2007年增刊 （38）卷 用等离子体方法以及化学处理对Ti-O 薄膜进行活化改性的研究*  樊 珊，陈俊英，孙 鸿，黄 楠 (西南交通大学材料科学与工程学院，材料先进技术教育部重点实验室，四川 成都 610031) 摘 要：采用磁控溅射法制备Ti-O 薄膜，然后采用等 （100）片上镀Ti-O 膜。经X 射线衍射仪测得薄膜物相 离子体浸没离子注入设备，以氢气作为离子注入源，轰 结构大部分为金红石结构，含有少量锐钛矿结构。 + 击至钛氧薄膜表面，使其产生羟基基团。并对注入后样 2.2 等离子体浸没H 注入 品进行酸活化，以期得到更多的羟基。采用傅立叶红外 采用等离子体浸没离子注入设备，用氢气作为离子注 光谱仪 （FTIR ）、X 射线衍射(XRD)、X 射线光电子能 -3 入源，轰击至钛氧薄膜表面。基底真空采用1.8 ×10 Pa ， 谱仪 （XPS ）、扫描电子显微镜 （SEM ）等对材料表面 -1 工作真空为3.4 ×10 Pa，频率为 300Hz。脉宽为 10μs， 的结构、成份、官能团变化进行表征。研究结果显示， 射频功率为750W ，采用 19kV 偏压注入3h 后再用7kV + Ti-O 薄膜经H 注入后再进行活化，磁控溅射Ti-O 薄膜 注入2h 。 得到明显增多的羟基。 2.3 酸碱活化 关键词： 钛氧膜；等离子体活化；酸活化；羟基 酸活化是将样品清洗后放入H SO 和H O （7 ∶3 ） 2 4 2 2 中图分类号： R318.08 文献标识码：A 溶液中在沸水中浸泡2h 。取出用双蒸水煮沸 10min。冲 文章编号： 1001-9731(2007)增刊-1816-03 洗后使用真空干燥箱干燥。 2.4 薄膜的性质表征 1 引 言 用光学显微镜观察酸碱活化后样品表面形貌。对注 对于心血管植入物来说，完整的内皮细胞化表面才 入前后和酸碱活化前后的样品进行FTIR 分析，设备为 [1] ST-IR20SX 红外光谱仪 （美国 NICOLET ），采用 FTIR 是最好的生物相容表面 。因此，通过在体外构建的内 皮细胞层或者体外生物化后在体内进行内皮化与内皮 中的漫反射。用X 光电子能谱仪 （XSAM -800 ）测试注 细胞诱导生长形成细胞单层来预防血栓，血管内皮损伤 入前后的样品，测试O 的高分辨单谱。 和内膜增生等，被认为是解决血液接触材料生物相容性 [2~4] 3