超薄膜厚度的一种检测方法研究.pdfVIP

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $# F ’## F , , , Q2. D$# P2 D F =;-;18 ’## ( ) ###*(’#J’##J$# #F J %%E*#% =LA= ?MN@OL= @OPOL= !’## L7:, D ?751 D @29 D !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! !#$ 超薄膜厚度的一种检测方法研究 刘 爽 宁永功 张 毅 张怀武 陈 艾 (电子科技大学信息材料工程学院,成都 !##$% ) 刘俊刚 杨家德 (重庆光电技术研究所,重庆 %###!# ) 李 昆 (材料工程研究所,新加坡 ’!# ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) ’### ’ $ ’## ’ ’( 介绍了采用角分辨 射线光电子解谱( ( ))测试薄膜不同角度光 )* +,-./ 0/12.3/4 )*0+5 67282/./980:9 16/980; =)?@ 电子能谱强度,计算电子平均自由程,从而计算出 超薄膜厚度的方法,并给出其透射电子显微镜( )晶格象 ?8@: ABC 验证结果D 实验表明该方法简单易行,适用于其他超薄膜厚度的测量D 关键词: 超薄膜,小角度 射线电子能谱, 晶格象 ?8@: ) ABC : !% #E!’ [] 变化与薄膜厚度有关系的特点 D 引 言 ’ ( ) 单层厚度公式推导 [] 近年来,集成电路和光子器件对薄膜的要求越 对于单层膜存在 : 来越薄,超薄膜的研究和应用是目前相关领域的热 H I J !1:, ( # ), ()

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