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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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!#$ 超薄膜厚度的一种检测方法研究
刘 爽 宁永功 张 毅 张怀武 陈 艾
(电子科技大学信息材料工程学院,成都 !##$% )
刘俊刚 杨家德
(重庆光电技术研究所,重庆 %###!# )
李 昆
(材料工程研究所,新加坡 ’!# )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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介绍了采用角分辨 射线光电子解谱( ( ))测试薄膜不同角度光
)* +,-./ 0/12.3/4 )*0+5 67282/./980:9 16/980; =)?@
电子能谱强度,计算电子平均自由程,从而计算出 超薄膜厚度的方法,并给出其透射电子显微镜( )晶格象
?8@: ABC
验证结果D 实验表明该方法简单易行,适用于其他超薄膜厚度的测量D
关键词: 超薄膜,小角度 射线电子能谱, 晶格象
?8@: ) ABC
:
!% #E!’
[]
变化与薄膜厚度有关系的特点 D
引 言
’ ( ) 单层厚度公式推导
[]
近年来,集成电路和光子器件对薄膜的要求越 对于单层膜存在 :
来越薄,超薄膜的研究和应用是目前相关领域的热 H I J !1:,
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