图形化蓝宝石衬底工艺的研究进展_黄成强.pdfVIP

趋势与展望 Trends and Outlook 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 DOI :10 ． 3969 /j ． issn． 1003 － 353x． 20 12 ． 07 ． 00 1 图形化蓝宝石衬底工艺研究进展 1 1 1 1 2 1 ， ， ， ， ， ， 黄成强 夏洋 陈波 李超波 万军 汪明刚 1 1 1 ， ， 饶志鹏 李楠 张祥 (1. ， 100029 ; 中国科学院微电子研究所 北京 2. ， 314000) 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 浙江 嘉兴 : (PSS) LED 。 摘要 图形化蓝宝石衬底 技术是一种提高 亮度的新技术 结合光刻和刻蚀工艺 。 ， 制作图形化蓝宝石衬底 有关图形化蓝宝石衬底的研究主要集中在对光刻和刻蚀工艺的研究 以 LED 。 ， 及图形化蓝宝石衬底提高 亮度的机理 目前微米级图形化蓝宝石衬底已经得到普遍的应用 LED ，PSS-LED 30% 。 与基于平坦蓝宝石衬底的 相比 的发光功率提高了 左右 图形化蓝宝石衬底 ， 技术的发展经历了从早期的条纹状图形到目前应用较广的半球形和锥形图形 从湿法刻蚀到干法 ， 。 LED ， 刻蚀 从微米级到纳米级图形的演变 由于能够显著提高 亮度 纳米级图形化蓝宝石必将 得到广泛的运用。 : ; ; ; ; 关键词 图形化蓝宝石衬底 发光二极管 光刻 纳米压印 刻蚀 中图分类号:TN364. 2 文献标识码:A 文章编号:1003 － 353X (2012)07 －0497 －07 Study Progress of the Manufacturing Process of Patterned Sapphire Substrates