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械与动力工程 学院. 河 南, 焦作 ( 454000) ) , 程 雪利 / / 现 T N 305. 7 TN 2 15 200702 1874 代制造工程. - 2 006 , ( 6) . - 143 14 6 H CdTe 探测列 阵干 法 技术 的刻 蚀 形 貌 研 究= Stu dy on 讨论微细加工与装备技术 现状, 介绍刻 蚀技术、LIGA et ch p att er n of dr y t echn ique for H CdT e IRFP A s [ 刊, 技术和准 LIGA 技术、微细特种加工 等典型 的微细 加工工 中] / 叶振 华 ( 中 科 院上 海 技 物 所 材 料 器 件 中心. 上 海 艺原理与技术特点, 并 指出各 种加 工方 法的优缺 点, 分析 ( 2000 83) ) , 胡 晓宁 / / 红 外 与 毫 米 波 学 报. - 2 006, 25 微细加工技术的发展走 向及装 备技术 的发 展趋势。参 16 ( 5) . - 32 5 328 ( 严寒) 报道 了与 H CdT e 微 台面焦 平面探 测列阵成形工 艺 的干法 刻 蚀 技 术 有 关 刻 蚀 形 貌 的一 些 研 究 结 果。从 TN 305. 7 200702 1873 H CdT e 外延材料的特点出发, 详细分析 了其干 法刻蚀 适 面投影微立 体光 刻 技术 研 究进展 = Research pr o ress in 用的 R IE( React iv e Ion Et ch in ) 设备和刻 蚀原理 。采用 高 int e r al micr ost ereolith o r aphy[ 刊, 中] / 于 成龙( 陕西科技 等离子体密度、低腔 体工 作压力、高 均匀 性和 低刻 蚀能量 大学材料科学与 工程 学院. 陕西, 咸 阳( 7120 81) ) , 王 秀峰 曲 ICP( In duct iv ely Coup led P lasma) 增 强型 RIE 技 术, 研 / / 新技术新工艺. - 2 006 , ( 5) . - 22 2 5 究了不同的工 艺气 体配 比、腔体 工作 压 力、ICP 源功 率 和 综述 了国内外 最近几 年面 投影 微立体 光刻 技术 的研 RF 源功 率对 H CdT e 材料 刻蚀形貌 的影响, 并 初步得 到 究进展 。阐述 了液晶动态 掩模技 术和 数字 微反 射镜 动态 了一种稳定的、刻蚀 表面清 洁、光滑 、图形 轮廓 良好、均 匀 掩模技术的基本 原理 。分 析了两 者的技术 核心 并对 相关 性较好和刻蚀速率较高的干法刻蚀工 艺。图 5 参 11( 杨 妹 参数进行了比较, 展望了该技 术的发展 前景。图 4 表 1 参 清) 16( 严寒) 光学仪器 验室) , 卡 里 德 K / / 电子 显微 学 报. - 2006 , 2 5( 4) . - 2 98 306 眼镜 、放大镜 、显微镜、望远镜 试验成功了压 电双 晶片 剪切 力检 测器结 合力 反馈 技 术, 大幅度提高了双 晶片 的