电子级过氧化氢项目介绍.doc

电子级过氧化氢项目简介 电子级过氧化氢是一种高纯度的过氧化氢水溶液，是电子工业中一种十分重要的工艺化学品。自从1965年RCA(美国无线电公司)研发了用于硅晶圆清洗的RCA清洗法以来，随着电子工业的高速发展，电子级过氧化氢也得到高速发展，同时随着集成电路的尺寸微小化和处理向高速度方向发展，也对其质量提出了苛刻的要求。电子级过氧化氢由于其用途的不同分成很多等级。国内用量较大的是用于电子线路板和电子管清洗的过氧化氢，这一等级的产品相比其他电子级产品的质量要求较低，产品售价也较低，其消费量在电子级过氧化氢总消费量中占比例较大，估计占60%以上。我国目前印刷电路的生产量为5220万平方米，主要生产厂家有上海华虹NEC微电子有限公司、首钢日电电子有限公司、上海先进半导体制造有限公司等，预计到2010年我国印刷电路的生产量还将较大增长。 电子级过氧化氢的质量标准 ??? 用于电子行业的高档次过氧化氢产品还以其对产品质量的要求由低到高分为MOS级、SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8、SEMI-C12等，MOS级产品消费量占较大比例，国内生产试剂级产品的厂家部分可生产MOS级别的产品。SEMI级的产品主要用于半导体材料的清洗、蚀刻和封装等，这一级别的产品国内生产量较小，主要生产厂家是上海远大公司，其产品除供国内需求外，还有相当数量出口。国内市场所需主要依靠进口，进口国以美国和日本为主。 另外，美国、欧州和日本等一些大型高纯过氧化氢供应商制订了自己的标准，应用较广，如表1－表3所示。 表1? FMA高纯双氧水规格(美国) 项目 Semi SEG RGS1 RGS2 RGS3 H2O2质量分数,% 31.5 31 31 31 31 总有机碳(TOC), 10-6 ≤20 ≤20 ≤20 ≤15 ≤5 各种金属杂质,10-9 ≤50 ≤10 ≤1 ≤0.1 ≤0.01 稳定度,% ≥98 ≥90 ≥90 ≥90 ≥90 表2? Solvay Interox高纯双氧水规格(欧洲) 项目 标准级 超纯级 超高纯级 Pico pure 各种金属杂质,10-9 200 10 1 0.1 表3? MGC高纯双氧水规格(日本) 项目 EL ELM UELM ELG 各种金属杂质,10-9 ≤10 ≤1 ≤0.1 ≤0.001 国内高纯双氧水有4个标准，主要由北京化学试剂研究所起草，现有高纯试剂(GB 2300-80)、MOS、BV-1和MOS－VLSI级等，它们已经滞后于实际半导体生产需要。 下图为工业级双氧水与高纯度双氧水中主要杂质含量对比（摘自美国化工网） 新隆泰化工的双氧水产品2003年的检测结果这四项指标均低于150ppm，其品质已接近食品级和电子级双氧水标准，因此为产品将来的进一步升级打下了良好的基础。 二、电子级过氧化氢的市场发展和预测 2.1市场发展 ??? 世界上主要生产电子级过氧化氢的厂家：MGC(日本)、FMA(美国)、Solvay Interox(比利时)、AirLiquide(法国)、Merck(德国)、Degussa(德国)等公司，它们对全球实施垄断性经营，占领了电子级过氧化氢90%的市场。 近年来，亚洲对电子化学品的需求迅速增长，日本、韩国及中国台湾地区是亚洲传统的电子化学品三大生产基地。而中国、新加坡、马来西亚、泰国等国的电子化学品工业迅速兴起，亚洲电子化学品的消费格局发生重大变化，消费热点逐渐向这些国家转移。 20世纪90年代中期以来，我国电子化学品工业迅猛发展，已占到亚洲市场的近三成份额，目前市场需求正以年均9.3%的速度增长。而前几年我国只有北京化学试剂研究所等少数试剂厂可以生产高纯过氧化氢，且生产规模小，通常为百吨级规模，仅能生产一般电子级和精细电子级产品。目前国内的超净高纯化学品规格与品种级别主要有MOS级和SEMI-C7级两个级别的超净高纯化学品。主要生产单位有北京化学试剂研究所、天津试剂三厂、上海试剂总厂、江阴市化学试剂厂、苏州瑞红公司等，国内生产总规模在约5000吨/年。目前，北京化学试剂所、华东理工大学化学工程研究所、上海华谊微电子化学品有限公司(上海华谊(集团)公司)等进行国家“863”计划，开展0.09～0.2μm技术用SEMI-C12级超净高纯化学品的研究工作，预计将取得突破性的进展。 2.2市场预测??? 半导体行业的状况对电子级过氧化氢的影响至关重要，世界半导体组织(WSTS)和美国半导体工业协会(SIA)对全球市场半导体预测如表4。 表4? WSTS/SIA对全球半导体市场预测 预测组织 WSTS SIA 年份 2001 2005 2010 2002 2005 2010 销售总额，亿美元 2104 3001 5578 2214 3872 8956 增长率，% 1