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失效模式分析
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项 目 名 称
PFMEA 编 号
核 准
产品型号
过程责任部门
关 键 日 期
核心小组
编制日期
潜在失效 模式
潜在失效 后果
严重度S
级别
频度O
现行过程控制探测
探测度D
风险顺序数RPN
建 议 措 施
责任及目标完成日期
措 施 结 果
采取的 措 施
严重度 S
投入
光阻涂布
定向
撒布
OVEN
ITO膜面放反
UV光失效
涂布不均
气泡
短路
曝光跑位
曝光室污染治具
曝光
玻璃表面碎屑
每日清洁曝光室
DI水污染
去膜
清洗
毛刷刷不到玻璃表面
膜厚不均
上膜跑位
膜缺
破洞
平台不平整
每月定期校正平台平整度
玻璃烤破
玻璃走歪被底座卡住
抖面
定向深
框彩
切裂不良
灌液晶异常
跑位
撒布不均
漏液
框坏
印框
曝光不良
整合异常
上光阻不良
编制
潜 在 的 失 效 模 式 及 后 果 分 析
潜在失效原因/机理
PI涂布
Top涂布
PI固化不均
玻璃有破角
每月定期校正
框色不均
现行过程控制预防
PFMEA 日 期
上Top跑位
Top固烤
Top固化不均
APR版或玻璃被污染
PI固烤
(过程FMEA) 版本:A版
生产﹑工程﹑品管
联系电话
ITO玻璃面电阻值错误
蚀刻不良
来料不良及人为疏失
在玻璃包装上做标识﹐依照规格单选材
IQC来料抽测ITO面电阻
无法蚀刻
作业员将玻璃倒角放反
生产在线标识倒角位置并首件检查
清洗不干净
上光阻脏
每12小时检测DI水电导率,及时更换DI水
清洗液使用超过12h,清洗能力不足
12小时更换1次清洗液
记录换液时间
依不同玻璃厚度调整毛刷高度
高度计量表测试
滤芯失效
依水压表判断并更换失效滤芯
风刀气源污染
每月点检更换油雾分离器滤芯
工程师点检
UV灯每使用3000小时后更换,定时器监控
涂布轮与背压轮间隙不均
每月点检校正原点
间隙仪表监控
依不同玻璃厚度调整间隙(参数已标准化)
起线
断路
涂布轮局部变形
调整涂布轮与背压轮间隙使其充分磨合
目测
光阻剂下滴不畅
调整光阻剂下滴量
堆积
涂补轮刺伤
光阻机前加装传感器﹐防止玻璃迭板通过
涂补轮表面污染
清洗涂补轮
图白﹐断路
光阻剂输送管路进气
对光阻剂输送管路进行排气处理并安装输送管传感器监控
1次/2h巡检
脏
断短路
环境污染涂布轮及光阻剂
光阻涂布区域人员限制为2人
每两周测量环境洁净度
光阻涂布前玻璃清洗不干净
清洗机传送速度以2100mm/min作业并首件检查
1次/2h抽检
在参数范围内放慢清洗机传送速度
预烤
光阻剂预烤不充分
欲断
光阻剂附着力不足﹐造成显影过度
调整烤箱传送速度并首件检查
短路﹐图凸
治具清洁不干净
上线治具清洁干净
用CCD首件检查
PI印刷﹐印框点位置偏移
平台定位PIN动作不到位
产品首检﹐每日点检PIN及其动作
用CCD首件检查及中途抽检
掩膜版刺伤
断路﹐图缺
防止玻璃迭板破损
首件检查及中途抽检
曝光室内治具安装磨擦引起碎屑
治具安装轻拿轻放
治具安装框架加装滚轮﹐减少磨擦
曝光不足或过度
短路﹐断路
光刻胶分解不足或过度分解
调整曝光量(参数已标准化)并用CCD首件检查
显影
显影过度
断路﹐图型失真
光刻胶过多清除
控制显影
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