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半导体厂节能措施汇总.xls
水
空调
电
汇总
S02
S06
S01S06
S06/S01
二次冰水泵浦(冬季)停開及冰機根據負載間歇開關機
CUB夏季用排氣關閉
U2-3F及K1變電所照明空調關閉
S01
濕度範圍擴大,減少蒸汽用量同時減少MAU數量;夏季減少冰水耗量
S01 1D/1C/4D減少FFU控制為DustControl
08/11/06已開始實行,次年3、4月再開啟
08/11/01已關閉,次年5月再開啟
08年10/29日已完成1台,從08/11/01開始計算;其餘春節後安裝
08/11/17已開始實行
1F於08年11月完成,3F/4F春節後實施
S01
S06
Hookup少的無塵室上方照明關閉
08/11/01已開始實行
濕度控制在50%~70%(原來為Module 55%~69%,Beol 50%~60%)
濕度範圍擴大,減少蒸汽用量同時減少MAU數量;夏季減少冰水耗量
08/11/17已開始實行
S01S06
FAB RCU(冰水)適當關閉
08/11/17已開始實行,冬季有效益
S01
S06
已執行中,純水系統前段熱交換器已停止使用
沙濾罐減少運行時間
每週運行1次,運行時間每週日0:00——8:00,其中反洗時間6:00,反洗時長128s
冬季低溫季節關閉無塵室冰水二次泵
二次泵一月份全部關閉,預計可執行至三月低
FAB溫濕度季節性調控
冬季溫/濕度設定25℃/55%;夏季溫/濕度設定26℃/65%
RC FAB 的吊頂空調箱全部關閉
冬季關閉
RC 與1E二次冰水系統整合
在夏季冰水用量高峰期可停15KW水泵一台
工廠電力負載低的時段停掉7台變壓器減少變壓器本身損耗
S02
AUSZ
蘇州廠區U1U2射燈關閉一側(關閉7個,按每個400W計算)
已從1/1開始執行,預計十二個月,關閉
U1U2 7盞射燈400W
蘇州廠區辦公區照明減少(由雙管改單管,按1000根*36W)
蘇州廠區庫房照明減少(由雙管改單管,按1000根*36W)
已從1/1開始執行,預計二個月,關閉
辦公區08:00~20:00開啟(按10H開啟),庫房(08:00~08:00,按24H)
蘇州廠區F2-RF生飲水RO廢水回收
預計5月份開始投入使用
融園空調分時段開啟(由原來的9H改成20:00~23:00)
09年1月1日開始,預計80天
預計6月30日前全部更換完成
S03
合理開啟電梯數量
關閉3台電梯電源(全年適用)
現場自行使用小吸塵器清潔,合理利用能源(全年適用)
冰機間斷性開機
外界溫度低於8℃開機1小時停機3小時(每年1月至2月適用)
5台冰機關閉兩台節約備機用電
2台冰機斷電節約待機費用1月開始實施(全年適用)
S03
加熱式乾燥機取代吸附式乾燥機
利用節能型新設備代替原設備2月開始實施(全年適用)
發電機機油加熱裝置關閉
根據天氣狀況關閉發電機加熱裝置2月開始實施(2月-11月適用)
電力暫時減容
U1U2冷卻水泵加裝變頻器
DIW水溫放寬範圍——夏天不用冰水,冬天減少熱水用量
U1U2 CDA壓力繼續調降
負載低採用單回路供電,關閉7台變壓器
電力減容
僅2E生產時開啟ZR400供氣
根據產能狀況隨時調整,預計09年開啟2個月,09年已開啟19天
蘇州廠區南側路燈蘇州廠區F2西側路燈開啟時間減少(由原17:30~5:30----改成17:30~22:00)
南側景觀路燈124盞,每盞18W;F2西側高杆路燈7盞,每盞400W
蘇州廠區衛生間及走道排氣時間設定(由原24H---改成按時段開啟07:00~20:00,22:00~01:00,04:00~06:00)
蘇州辦公區空調時空(由原10H ---改成7:00~9:30,12:00~13:00,15:00~16:00)
一期空調熱水溫度調低(由55℃----40℃)
廠區照明燈由T8改成T5節能燈
中央集塵器(HV)關閉
Done
Done
目前:U1—6.4bar,U2—6.3bar,目前C/R:3B:5.6~5.9bar,4B:5.8~6.2bar,1D:6.1~6.2bar,3D:5.8~5.9bar,4D:5.7~5.8bar
Done,5/1恢復雙邊供電
三期蒸汽併入一二期
於2/1日開始執行單邊供電減容預計可執行3個月
U3 CDA壓力調降:自08年12月由5.5bar調至5.0bar
自08年12月由5.5bar調至5.2bar
降低電力契約容量(2月-7月適用)
序號
廠區
節能項目
執行狀況
節能比例
備註
S01S06
物料區域空調關閉,利用無塵室泄壓來控溫
08年10/29日已完成,從08/11/01開始計算
冬天利用外氣冷卻變電室的溫度
11月~次年3月利用外氣,08/11/09已完工,從08/11/15開始計算;並間歇性開關機
Done
U1U2降低
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