半导体厂节能措施汇总.xlsVIP

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半导体厂节能措施汇总.xls

水 空调 电 汇总 S02 S06 S01S06 S06/S01 二次冰水泵浦(冬季)停開及冰機根據負載間歇開關機 CUB夏季用排氣關閉 U2-3F及K1變電所照明空調關閉 S01 濕度範圍擴大,減少蒸汽用量同時減少MAU數量;夏季減少冰水耗量 S01 1D/1C/4D減少FFU控制為DustControl 08/11/06已開始實行,次年3、4月再開啟 08/11/01已關閉,次年5月再開啟 08年10/29日已完成1台,從08/11/01開始計算;其餘春節後安裝 08/11/17已開始實行 1F於08年11月完成,3F/4F春節後實施 S01 S06 Hookup少的無塵室上方照明關閉 08/11/01已開始實行 濕度控制在50%~70%(原來為Module 55%~69%,Beol 50%~60%) 濕度範圍擴大,減少蒸汽用量同時減少MAU數量;夏季減少冰水耗量 08/11/17已開始實行 S01S06 FAB RCU(冰水)適當關閉 08/11/17已開始實行,冬季有效益 S01 S06 已執行中,純水系統前段熱交換器已停止使用 沙濾罐減少運行時間 每週運行1次,運行時間每週日0:00——8:00,其中反洗時間6:00,反洗時長128s 冬季低溫季節關閉無塵室冰水二次泵 二次泵一月份全部關閉,預計可執行至三月低 FAB溫濕度季節性調控 冬季溫/濕度設定25℃/55%;夏季溫/濕度設定26℃/65% RC FAB 的吊頂空調箱全部關閉 冬季關閉 RC 與1E二次冰水系統整合 在夏季冰水用量高峰期可停15KW水泵一台 工廠電力負載低的時段停掉7台變壓器減少變壓器本身損耗 S02 AUSZ 蘇州廠區U1U2射燈關閉一側(關閉7個,按每個400W計算) 已從1/1開始執行,預計十二個月,關閉 U1U2 7盞射燈400W 蘇州廠區辦公區照明減少(由雙管改單管,按1000根*36W) 蘇州廠區庫房照明減少(由雙管改單管,按1000根*36W) 已從1/1開始執行,預計二個月,關閉 辦公區08:00~20:00開啟(按10H開啟),庫房(08:00~08:00,按24H) 蘇州廠區F2-RF生飲水RO廢水回收 預計5月份開始投入使用 融園空調分時段開啟(由原來的9H改成20:00~23:00) 09年1月1日開始,預計80天 預計6月30日前全部更換完成 S03 合理開啟電梯數量 關閉3台電梯電源(全年適用) 現場自行使用小吸塵器清潔,合理利用能源(全年適用) 冰機間斷性開機 外界溫度低於8℃開機1小時停機3小時(每年1月至2月適用) 5台冰機關閉兩台節約備機用電 2台冰機斷電節約待機費用1月開始實施(全年適用) S03 加熱式乾燥機取代吸附式乾燥機 利用節能型新設備代替原設備2月開始實施(全年適用) 發電機機油加熱裝置關閉 根據天氣狀況關閉發電機加熱裝置2月開始實施(2月-11月適用) 電力暫時減容 U1U2冷卻水泵加裝變頻器 DIW水溫放寬範圍——夏天不用冰水,冬天減少熱水用量 U1U2 CDA壓力繼續調降 負載低採用單回路供電,關閉7台變壓器 電力減容 僅2E生產時開啟ZR400供氣 根據產能狀況隨時調整,預計09年開啟2個月,09年已開啟19天 蘇州廠區南側路燈蘇州廠區F2西側路燈開啟時間減少(由原17:30~5:30----改成17:30~22:00) 南側景觀路燈124盞,每盞18W;F2西側高杆路燈7盞,每盞400W 蘇州廠區衛生間及走道排氣時間設定(由原24H---改成按時段開啟07:00~20:00,22:00~01:00,04:00~06:00) 蘇州辦公區空調時空(由原10H ---改成7:00~9:30,12:00~13:00,15:00~16:00) 一期空調熱水溫度調低(由55℃----40℃) 廠區照明燈由T8改成T5節能燈 中央集塵器(HV)關閉 Done Done 目前:U1—6.4bar,U2—6.3bar,目前C/R:3B:5.6~5.9bar,4B:5.8~6.2bar,1D:6.1~6.2bar,3D:5.8~5.9bar,4D:5.7~5.8bar Done,5/1恢復雙邊供電 三期蒸汽併入一二期 於2/1日開始執行單邊供電減容預計可執行3個月 U3 CDA壓力調降:自08年12月由5.5bar調至5.0bar 自08年12月由5.5bar調至5.2bar 降低電力契約容量(2月-7月適用) 序號 廠區 節能項目 執行狀況 節能比例 備註 S01S06 物料區域空調關閉,利用無塵室泄壓來控溫 08年10/29日已完成,從08/11/01開始計算 冬天利用外氣冷卻變電室的溫度 11月~次年3月利用外氣,08/11/09已完工,從08/11/15開始計算;並間歇性開關機 Done U1U2降低

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