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·384· 《测控技术》2010年第29卷增刊
O．5～100
1TIIll二等量块检定装置的研制
杨玉洁，姜国雁，刘涛
(沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司，辽宁沈阳110043)
摘要：介绍了采用双纵模稳频的He．Ne激光辐射谱线的波长作为标准，用计数法研制的接触式量块激
光干涉仪的过程。阐述了本量块检定装置对0．5～100mm二等成组量块和专用量块，以及各等级的特殊
尺寸量块的测量。阐述了结构设计，软硬件功能设置，装置重复性、稳定性、准确性以及比较法研制的
量块线膨胀系数测量装置。该二等量块检定装置是集光、机、电相结合，融软件于一体的高准确度量块
测量仪器。采用柔性测头接触定位的方式，使被测量块无需研合在辅助平板上就可以用激光波长对量决
长度进行高准确度直接干涉测量。
关键词：接触式；二等量块；激光干涉仪；检定装置
中图分类号：TB921文献标识码：A 文章编号：1000．8829(2010)S0-0384-04
of0．5～100mmSecond-GradeBlock Machine
Development Gauge Measuring
YANG Tao
Yu-jie，JIANGGuo-yan，LIU
1
(AVIC Aero-Engine(Group)Co．Ltd．，Shenyang10043，China)
ShenyangLiming
Abstract：Thefor the resolutionblocklaser touch
procedureresearchinghigh gauge length measuring
machine methodis usesthe ofdouble
bycounting introduced,whichwavelenghlongitudinalmode仔equency
stabilizedHe-Nelaserradiation lineasthestandard．ThemeasureofO．5～100mm
spectral second-grade
blockandeach size block this
groupgaugeblock,special—purposegauge gradespecialgauge byusing
verificationaredescribed．Thestructure functionofhardwareand
apparatus design,the
and ofthe aswellasthe blocklinedilatantfactorverification
apparatus
accuracyapparatus gauge researching
meansof arealsodescribeThemaindeviceofthis blockverification
by comparison second-grade
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