多通道柔性神经微电极加工工艺.pdfVIP

第17卷第lo期 光学精密工程 Vol-17No．10 andPrecision 2009年10月 Optics Engineering oCt．2009 文章编号1004—924X(2009)10—2465—08 多通道柔性神经微电极加工工艺 邢玉梅1’4，惠 春1，徐爱兰2，李 刚3，赵建龙3，任秋实1 (1．上海交通大学生命科学技术学院，上海200240； 2．上海交通大学微纳科学技术研究院，上海200240； 3．中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海200050； 4．上海大学理学院纳微能源研究所，上海200444) 摘要：针对多通道柔性神经微电极的设计及制作，研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对 二甲苯(parylenec)作为微电极的基底和绝缘材料，借助微细加工技术，制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经 微电极，微电极的尺寸分别为圣150弘m(圆形)和150肛mXl50弘m(方形)，电极引线线宽为30tim。无论微电极为圆形或 kQ左右，且随着频率的增加， 方形，表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明，lkHz时微电极的阻抗仅为7 阻抗逐渐降低，呈明显高通特性。微电极加工质最较好，电学性能优良，实现了微电极和柔性基底的集成，有利于高效率 批量制作，为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。 关键词：神经微电极}柔性基底；聚对二甲苯；微细加工 中图分类号：TP212．3：R338文献标识码：A Microfabricationof multichannelflexibleneuralmicroelectrodes XING Qiu—shil Yu—meil·4，HUIChunl，XUAi—lan2，LIGan93，ZHAOJian—lon93，REN 200240，China； (1．CollegeofLifeScienceBiotechnology．ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai 2．RPsP口rf^j竹s￡z￡“￡e Scienceand Micro／Nano Technology， of ShanghaiJiaotong 200240，China； University，Shanghai Institute and InformationTechnology， 3．Shanghai ofMicrosystem Chinese 200050，China； AcademyofSciences，Shanghai 4．InstituteNano／Micro 200240，China) of Energy，ShanghaiUniversity，Shanghai Abstract：MultichanneIflexibleneuralmicroelectrodeswere andfabricated，andtheirfabrica—