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工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法.pdf

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13  1          .13 .1   2015 1 Nanotechnology and Precision Engineering .2015   10.13494/. ,, ,.[].,2015 ,13(1): 8-16. , , , . [].Nanotechnology and Precision Engineering ,2015 , 13(1): 8-16 ( ). , ,  , , , , (,300072 )  : (), ., ,., ,; ,.,30 ,5 μ. : ; ; ; :73 ;391.41   :    : 1672-6030(2015)01-0008-09 Fast Positioning Method for Industrial Scanning Probe Microscopy , , , , , , ( ( ), 300072 , ) Abstract : - (), - . , - , , - . , ’ ., . 5 μ - 30 . Keywords : ; -; ; [1]   () . , ,   : 2014-12-15. : (863 )(2012041204 ) ;). : (1974—  ) ,,,,@... :  ,,@...  2015 1 : ・    9 ・  [2 ] . ,Y (4 ~8 , .X 10.16 ~20.32 ), X 1、X2 ,X 1 Z1 , ,X2 Z2 ,Z1、Z2 ., ., . ,, , ,, ., , . [3 ] . , , :X 1、Y、Z1 650 、500 、 . 30 ,3 , 1 μ、1 μ、50 ., 1 SPM 10 ×,0.28 ,3.5 μ. , 1 (、), .1 , ,. ,

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