检测技术 第3版 教学课件 作者 施文康 余晓芬 主编 第六章.ppt

二、多自由度角位移的测量 图6-32　双坐标光电自准直仪光路图 1.双坐标光电自准直仪　 近年来研制出了一些双坐标角度测量仪。在这些仪器上，既能完成角度的动态测量，也能用于两个自由度角位移的测量。 2.五自由度激光跟踪测量仪　 图6-33　五自由度激光跟踪测量系统示意图 3.螺旋线误差测量仪　 图6-34　丝杠螺旋线动态测量仪结构示意图 3.螺旋线误差测量仪　 图6-35　方形角尺测量示意图 3.螺旋线误差测量仪　 表格 (二)平台测量 图6-14　内燕尾槽斜角测量示意图 1.用标准圆柱测量内燕尾槽的斜角　 测量内燕尾槽的斜角可用两对不等直径的标准圆柱测量，也可用一对相等直径的标准圆柱测量(见图6-14)。 2.用标准钢球测量内锥角　用标准钢球测量内锥角原理如图6-15所示，测量时内锥的小径在下，大径在上。 图6-15　内锥孔锥角测量示意图ａ)单球测量　ｂ)双球测量　ｃ)球柱配合测量 2.用标准钢球测量内锥角　用标准钢球测量内锥角原理如图6-15所示，测量时内锥的小径在下，大径在上。 图6-16　正弦规测量角(锥)度示意图 3.用正弦规测量角(锥)度　 正弦规按正弦原理工作，即在平板工作面与正弦规一侧的圆柱之间安放一组尺寸为Ｈ的量块，使正弦规工作面相对于平板工作面的倾斜角度α0等于被测角(锥)度的公称值，(见图)。 (三)其他测量方法 图6-17　环形激光器结构示意图 第三节　圆分度误差的测量 一、圆分度误差评定指标二、圆分度误差的绝对测量三、圆分度误差的相对测量四、圆分度误差的组合测量 一、圆分度误差评定指标 1.圆分度误差　圆分度误差是指各分度刻线(或具有分度特性的几何要素)的实际位置对其理论位置的偏差。2.零起分度误差　以零刻线的实际位置为基准，确定全部刻线的理论位置，并由此求得的分度误差称为零起分度误差，用θ0,i表示。3.分度间隔误差　度盘上相邻两刻线之间的角距离称为间隔，实际间隔角度值φi,i+1与理论间隔角度值φ0之差即为分度间隔误差(如图6-18所示)，用fi表示。4.直径误差　为减小度盘圆分度误差对测量的影响，很多测角仪器或瞄准度盘对径位置上两刻线的平均位置读数，或在对径位置上安置两个读数显微镜取其读数的平均值作为测得值。 1.圆分度误差　 圆分度误差是指各分度刻线(或具有分度特性的几何要素)的实际位置对其理论位置的偏差。 2.零起分度误差　 图6-18　圆分度误差示意图 3.分度间隔误差　 度盘上相邻两刻线之间的角距离称为间隔，实际间隔角度值φi,i+1与理论间隔角度值φ0之差即为分度间隔误差(如图6-18所示)，用fi表示。 4.直径误差　 图6-19　光电式度盘检查仪测量示意图 二、圆分度误差的绝对测量 1.用光电式度盘检查仪测量被检度盘的直径误差　光电式度盘检查仪的基本结构如图6-19所示。2.用通用测角仪器测量齿轮的齿距误差 1.用光电式度盘检查仪测量被检度盘的直径误差　光电式度盘检查仪的基本结构如图6-19所示。 表6-1　度盘分度误差检定数据处理 2.用通用测角仪器测量齿轮的齿距误差 图6-20　齿距误差绝对法测量示意图 2.用通用测角仪器测量齿轮的齿距误差 表6-2　绝对法测量齿距误差数据处理举例 三、圆分度误差的相对测量 图6-21　相对法测量多面棱体示意图 三、圆分度误差的相对测量 图6-22　万能测齿仪相对法测量齿距误差示意图 四、圆分度误差的组合测量 图6-23　用全组合常角法测量多面棱体示意图 四、圆分度误差的组合测量 表6-3　全组合常角法数据处理表格 第四节　角位移量的测量 一、单自由度角位移的测量二、多自由度角位移的测量 一、单自由度角位移的测量 1.旋转变压器　旋转变压器可测量360°角位移，常用来直接测量加工机械中丝杠的转角。2.传感器轴承　目前市面上出现一些智能型零部件，实际上是将一些传感器集成到这些零部件上，如在有些汽车上安装的“智能轮”，就是选用了具有测角位移功能的传感器轴承。3.微动同步器　微动同步器是摆动位移测量传感器，其测量范围为±10°。4.新型角位移传感器——圆时栅 1.旋转变压器　旋转变压器可测量360°角位移，常用来直接测量加工机械中丝杠的转角。 图6-24　旋转变压器工作原理a)定子与转子瞬态对应位置示意图　b)励磁电压与感应电动势波形图 1.旋转变压器　 图6-25　正余弦旋转变压器 2.传感器轴承　 图6-26　传感器轴承a)传感器轴承外观图　b)传感器轴承结构示意图　c)脉冲发生环截面形状示意图 2.传感器轴承　 图6-27　N型半导体的霍尔效应示意图 2.传感器轴承　 图6-28　微动同步器结构示意图 3.微动同步器　 微动同步器是摆动位移测量传感器，其测量范围为±10°。图6-28所示为微动同步器的结构原