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压电陶瓷驱动器线性动态驱动电源的研制.pdfVIP

压电陶瓷驱动器线性动态驱动电源的研制.pdf

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第 卷第 期 压 电 与 声 光 $ ! !$ 2YZ Y 年 月 ##. !##. z#h{$h%hX6#Xg’ 4X$ig6$$z6#Xg (mc[ ))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))))) 文章编号!’##.%.*.(##.+#$%#’/)%#$ 压电陶瓷驱动器线性动态驱动电源的研制 王 宏 钟朝位 张树人 , , 电子科技大学 微电子与固体电子学院 成都 ( , ’##0.+ 摘 要 根据压电陶瓷基本物理参数计算出压电驱动电源的最小基本性能参数 并利用高压运放研制了一种 ! , 新型压电陶瓷驱动器的驱动电源 它具有高的输出电压范围 高输出电流 峰值电流 , (1## +, (## , $## +- 2 34 34 并且通过对反馈电路的波特图分析 讨论了自激震荡的产生和防止 在试验中通过对压电驱动器的正弦信号激励 , - 分析 表明驱动电源在带负载时有良好的输入跟随性能 能够满足复杂压电驱动器控制需要 , , - 关键词 压电陶瓷驱动器 驱动电源 功率放大器 ! 5 5 中图分类号! *’7’ 文献标识码! 6 4 89:9;=9?@AB8C?BDE8FD:D?GHD?9IJ9FAF ID9K9;9E@FDEL9FBDEME@NB@F , V , V OMPQ R?G SRTPQ LUBJ9D SRMPQ WUNF9? ( % % , XYZZ[\[Y]^_‘aY[Z[‘baYc_‘decfgYZ_fgbeb[dhZ[‘baYc_‘d ic_j[ad_bkY]hZ[‘baYc_‘g‘_[c‘[ , ’##0., + ecf6[‘lcYZY\kY]Xl_ce Xl[c\fm Xl_ce ! , Mno@FBE@ 4‘‘Yaf_c\ bY ped_‘ ‘leae‘b[a_db_‘ Y]q_[rY[Z[‘ba_‘ e‘bmebYa s[ ‘eZ‘mZeb[ Ymb3_c_3m3 ped_‘

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