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压电及弹性层厚度对弯曲元件特性影响的研究_鄂世举.pdf
第 卷 第 期 兵器材料科学与工程
32 3 Vol．32 No．3
2009 年 5 月 ORDNANCE MATERIAL SCIENCE AND ENGINEERING May, 2009
压电及弹性层厚度对弯曲元件特性影响的研究
1 2 2
鄂世举 ，杨志刚 ，沈传亮
（ 浙江师范大学，浙江金华 ； 吉林大学，吉林长春 ）
1． 321004 2. 130025
摘 要 研制一种三叠片型压电双晶片驱动器，上下两层为压电陶瓷材料PZT-5H ，中间弹性层为铍青铜。 利用激光测试
仪LC-2400A 及LV-1610 对压电弯曲元件的输出位移、位移滞环、蠕变量及基频等特性进行实验测试。 通过实验，确定压
电弯曲元件的弹性层及压电晶片的厚度对其特性的影响，分析影响压电弯曲元件性能的因素。
关键词 压电弯曲元件；厚度；位移；蠕变量
中图分类号 文献标识码 文章编号 （ ）
TN384 A 1004-244X 2009 03-000 1-04
Influence of the thickness of piezoelectric and elastic layers on the bender element
characteristic
1 2 2
， ，
E Shiju YANG Zhigang SHEN Chuanliang
（ ， ， ； ， ， ）
1．Zhejiang Normal University Jinhua 321004 China 2．Jilin University Changchun 130025 China
Abstract A piezoelectric bender with trilayer structure was fabricated. Piezoelectric ceramics PZT-5H were used as piezoelectric
layers on both sides ， and Be-Cu as the elastic interlayer. The characteristics of piezoelectric bender ， including the output
displacement ， the displacement hysteresis loop ， creep and the basic frequency were investigated by laser distance
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