基于Laplace变换法的光电探测器频率响应研究.pdfVIP

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2017-08-17 发布于湖北
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基于Laplace变换法的光电探测器频率响应研究.pdf

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基于Laplace变换法的光电探测器频率响应研究.pdf

36 10 Vo l. 36 N o. 10 2007 10 A CT A P H OT O N ICA SIN ICA October 2007 L aplace * a b a 卞剑 , 程翔, 陈朝 ( a. ; b . , 361005) 从光电探测器的基本方程出发, 采用 Laplace 变换方法, 分析了一种与CM O S 标准工艺兼容的N- w ell/ P- sub 结构光电探测器的频率响应特性, 780 nm 和650 nm 波长下的截止频率分别为 14. 4 M H z 和43 MH z1 该分析方法克服了频率特性测量中存在负载影响和采用渡越时间分析截止频率所存在的近似与作用不确定的问题, 适用于各种P N 以及PIN 结构的光电探测器的频率特性研究1 光电子学; 光电探测器; L aplace 变换; 频率响应; CM OS 工艺 T N 364 + . 2; T N 302 A 1004- 4 213( 2007) 10- 1804- 4 0 1 CMOS ( ) CM O S , 1 , CSM C 0. 5 Lm CM O S P , , N + / P- subN- 1 ( OEIC) w ell/ P- sub P+ / N- w ell 1 1 N- w ell/ P- , , sub 1 650 nm 1 ( DV D ) 780 nm ( CD ) 1 1 OEIC , N- w ell N + N- w ell [ 1- 2] , 1 [ 9] , N + [ 3- 6] Sp [ 3, 6] 1 2 N- w ell/ P- sub , [ 5- 7] , N- w ell 1 P IN ( P N) , Jp ; P- sub , J n ; J ip = 1 J in1 x n N- w ell ; x 1 x 2 [ 8] F FT ; x B P- sub 1 , , 1 , CSM C 0. 5 Lm CM O S N- w ell/ P- sub , , ( Laplace) , 1 图1 N- w ell/ P- sub 结构光电探测器 CM OS 10 M H z, Fig. 1 N- w ell/ P- sub str uctur e photo detector , OEIC1 * 科技部中国- 白俄罗斯科技合作项目( CB7-2- 10) 和福建省重大专项前期研究项目( 2005H Z