太阳能级多晶硅制备技术与工艺.pdfVIP

rontier F 前沿 太阳能级多晶硅制备 技术与工艺 ◇冯瑞华　马廷灿　姜山　黄可 中国科学院国家科学图书馆武汉分馆 多晶硅是制备单晶硅和太阳能 将超过电子级多晶硅。因此，世界各国 改良西门子法 电池的原材料，是全球电子工业及光 都竞相开发低成本、低能耗的太阳能 1955年，西门子公司成功开发了 伏产业的基石。按照硅含量纯度可分 级多晶硅新制备技术与工艺，并趋向 利用H还原SiHCl在硅芯发热体上 2 3 为太阳能级硅（6 N）和电子级硅 于把制备低纯度的太阳能级多晶硅工 沉积硅的工艺技术，并于1957年开始 （11N）。过去太阳能电池的硅材料主 艺与制备高纯度的电子级多晶硅工艺 了工业规模的生产，这就是通常所说 要来自电子级硅的等外品以及单晶 区别开来，以进一步降低成本。本文将 的西门子法。 硅头尾料、锅底料等，年供应量很小。 对太阳能级多晶硅的制备技术以及近 在西门子法工艺的基础上，通过 随着光伏产业的迅猛发展，太阳能电 年来涌现出的新技术与新工艺进行综 增加还原尾气干法回收系统、SiCl氢 4 池对多晶硅的需求量迅速增长，预计 述，以便为我国的太阳能级多晶硅产 化工艺，实现了闭路循环，于是形成了 到2008年太阳能级多晶硅的需求量 业提供一些参考。 改良西门子法——闭环式SiHCl氢 3 还原法。改良西门子法的生产流程是 利用氯气和氢气合成HCl（或外购 HCl），HCl和工业硅粉在一定的温度 下合成SiHCl，然后对SiHCl进行分 3 3 离精馏提纯，提纯后的SiHCl在氢还 3 原炉内进行化学气相沉积反应得到高 纯多晶硅。改良西门子法包括五个主 要环节：即SiHCl合成、SiHCl精馏 3 3 提纯、SiHCl的氢还原、尾气的回收