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常用气体特性一览表 英文名称 分子式 中文名称 蒸气比重（Air=1） 钢瓶压力（Psig） 钢瓶接口CGA/DISS 瓶内状态 毒 腐 燃 双层管 Argon Ar 氩气 1.378 2600 282/718 气 否 否 否 否 Arsine AsH3 砷化氢（砷烷） 2.690 205 350/632 液 毒 否 燃 需 Diborane B2H6 乙硼烷 0.950 2200 350/632 气 毒 否 燃 需 Boron Trichloride BCl3 三氯化硼 4.030 4.4 660/634 液 毒 腐 否 需 Boron Trifluoride BF3 三氟化硼 2.387 1600 330/642 气 毒 腐 否 否 Chloropenta Fluorethane C2ClF5 五氟氯乙烷 5.569 101 660/716 液 毒 否 否 否 Acetylene C2H2 乙炔（电石气） 0.910 250 510/N/A 气 否 否 燃 否 Ethane C2H6 乙烷 0.960 544 350/N/A 气 否 否 燃 需 Butane C4H10 丁烷 0.058 16.3 510/N/A 液 毒 否 燃 否 Carbon Tetrafluoride CF4 四氟化碳 3.038 2000 320/716 气 否 否 否 否 Methane CH4 甲烷 0.555 2400 350/632 气 否 否 燃 需 Chlorine Cl2 氯气 2.490 85 660/728 液 毒 腐 否 需 Chlorine Trifluoride ClF3 三氟化氯 3.140 6.8 670/728 液 毒 腐 否 需 Carbon Monoxide CO 一氧化碳 0.968 1650 350/724 气 毒 腐 燃 需 Carbon Dioxide CO2 二氧化碳 1.522 830 320/716 液 否 否 否 否 Deuterium D2 氘 1.300 300 679/N/A 气 毒 腐 否 否 Germanium Tetrachloride GeCl4 四氯化锗 2.000 -13.23 N/A N/A 液 毒 腐 否 需 Germane GeH4 四氢化锗 （锗烷） 2.645 88 350/632 气 毒 否 燃 需 Hydrogen H2 氢气 0.070 2600 350/724 气 否 否 燃 否 Hydrogen Sulfide H2S 硫化氢 1.189 253 330/722 液 毒 否 燃 需 Hydrogen Selenide H2Se 硒化氢 2.790 124.9 350/632 液 毒 否 燃 需 Hydrogen Bromide HBr 溴化氢 2.770 320 330/634 液 毒 腐 否 需 Hydrogen Chloride HCl 氯化氢 1.268 613 330/634 液 毒 腐 否 需 Helium He 氦气 0.138 2600 580/718 气 否 否 否 否 Hydrogen Fluoride HF 氟化氢 0.690 0.6 670/638 液 毒 腐 否 需 Nitrogen N2 氮气 0.967 2600 580/718 气 否 否 否 否 Nitrous Oxide N2O 笑气 1.530 745 326/712 液 毒 否 否 否 Neon Ne 氖气 0.696 1800 580/718 气 否 否 否 否 Nitrogen Trifluoride NF3 三氟化氮 2.460 1450 330/640 气 毒 腐 否 需 Ammonia NH3 氨气 0.597 114.1 660/720 液 毒 腐 否 需 Nitric Oxide NO 一氧化氮 30 2000 660/716 气 毒 否 否 需 Oxygen O2 氧气 1.105 2600 540/714 气 否 否 否 否 Ozone O3 臭氧 1.660 - -/- 气 毒 否 否 否 Phosphine PH3 磷化氢（磷烷） 1.184 593 350/632 液 毒 否 燃 需 Phosphorous Oxychloride POCl3 氯氧化磷 2.000 -14.19 N/A N/A 液 毒 腐 否 需 Sulfur Hexafluoride SF6 六氟化硫 5.110 320 590/716 液 否 否 否 否 Silicon tetrachloride SiCl4 四氯化硅 1.480 -11 N/A/636 液 毒 腐 否 否 Silicon tetraflu