8寸晶棒损伤实验报告.pptVIP

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2017-08-16 发布于贵州
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8寸晶棒损伤实验报告.ppt

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* 必威体育官网网址 8寸晶棒损伤实验报告戴佳 2009.05.31 目录 1.背景 2.损伤层分析 3.实验数据 4.结论 * 背景实验目的: 了解8寸单晶晶棒,一刀滚圆和两刀滚圆后圆弧损伤层对硅片良率，崩边，碎片，半截片影响实验设计: 滚圆岗位在SK5上面分别滚圆两刀磨的晶棒,和一刀磨的晶棒.再由下图位置放置在MB设备进行切割. 第一刀: F1 M1 第二刀: F1 M1 位置依次更换切割6刀实验总共进行切割了6刀,中途因MB设备需要切割6寸晶棒,导致实验停止. 实验要求: 8寸晶棒直径200M以上,第一刀滚圆直径到:197MM,第二刀直径滚圆到:195±0.5MM * 实验棒正常棒实验棒正常棒损伤层分析 * 线开方滚磨一刀磨和两刀磨图片切片说明: 开方表面损伤13um 滚磨圆弧损伤40um 圆弧损伤半截片 1.线开方使用800号砂浆，粒径25um，故损伤在13um左右，易产生小崩边。 2.滚磨用300目砂轮，粒径80um，故损伤在40um左右，由于晶线处于圆弧处很易产生圆弧半截片。 3.使用一刀磨,晶棒圆弧处损伤比较大,从上图可以看出,圆弧表面凹凸不平.在切片处很容易产生圆弧损伤半截片. 实验数据 * 实验棒不良统计正常棒不良统计实验数据 * 实验棒合格率统计正常棒合格率统计(除去一根厚薄片数据) 实验数据 * 实验棒与正常棒合格率对比结论结论：这次实验可以看出,两刀磨晶棒表面质量、合格率比一刀磨晶棒的质量、合格率都高（0.58%）。通过这次实验，提高8寸硅片的合格率，降低滚磨圆弧处损伤产生的半截片还是可行的。后续工作： 1. 修改WI作业制导书，并培训现场员工戴佳 09.06.01 * * 必威体育官网网址 Thanks！