AceryLS基于B的半导体器件自动测试系统.doc

Headline Acery LS1500 基于B1500A/1505A的FET器件测试自动测试系统 ——解决圆片级半导体器件直流参数全自动测试问题 ——北京航天新锐科技有限责任公司 IMAGE OF SOLUTION Body Copy 系统概述 随着市场对半导体功率器件需求量的增加，传统的测试封装功率器件的方法已经不能满足市场量的需求，功率器件的测试逐步延伸至晶圆片级的测试，从而为半导体器件生产质量提高及生产工艺改进提供大量测量数据。 LS1500系列圆片级半导体器件直流参数全自动测试系统有两个系列型号：LS1500A和LS1505A。LS1500A和LS1505A系统典型配置见表1： 型号 LS1500A LS1505A 测量仪器 B1500A 半导体器件分析仪 B1505A 功率器件图示仪/分析仪 B1510A高功率模块 B1510A高功率模块 B1511A中功率模块 B1512A大电流模块 E5250A 低泄漏矩阵开关 E5250A 低泄漏矩阵开关 E3631A 程控电源 E3631A 程控电源 LS1500-00 系统电缆 LS1500-05 系统电缆 其它设备 探针台（第三方产品） 探针台（第三方产品） B1505A功率器件图示仪/分析仪和B1500A半导体器件分析仪是是德公司生产的在半导体测试领域的功能强大的测试仪器，可以根据需要选配不同的测试模块，以适应不同器件的测试需要。E5250A低泄漏矩阵开关在LS1500自动测试系统中的作用是实现了多通道的自动切换功能，使得B1505A/B1500A的高品质特性得到完美延伸。 LS1500自动测试系统将B1505A/B1500A、低泄漏开关矩阵E5250A及探针台完美地结合在一起，客户仅在EasyFET软件上设置一个或多个测试项目，即可完成整个圆片的直流参数的全自动测试，测试结果形成测试报告，并完成圆片的打点工作。 系统特点 通过系统输出的高电压、大电流，精确评估功率器件的输出特性随输入电压电流的变化情况；测试参数涵盖了半导体线性工作特性和其截止区工作特性，直流条件和脉冲条件下的工作特性； 测试过程中，可以根据每个参数不同的测试特点，切换系统中不同模块的输出参数，从而保证全部测试参数连续测试，提高了测试效率； 系统具有数据回放功能，方便测试数据分析； 参数测试、测试报告、圆片打点可以全自动完成； EasyFET生成的圆片图与探针台圆片图一致，并能在测试过程中明确显示当前测试状态和测试结果； 航天新锐科技提供定制服务，概据客户在研发与生产不同阶段的特点进行二次开发，使得客户无论在研发阶段还是生产阶段均可以得到大量真实可靠的数据，有效缩短功率器件的研发周期，以及对生产工艺改进的可能。