PECVD 5S标准作业规范.xlsVIP

岛津 RothRau 步骤 图视 部位 清扫部位 基准 方法 注意事项 工具 时间 周期 负责人 日 周 月 桌面物品按要求摆放 抹布 交接班时 ◎ 机台顶部 平面 没有任何的污垢 点检有无杂物及污垢 操机人员 点检有无污垢 作业表面 没有任何的污垢 舱盖 表面 机台内部 外表面 前、后左右面 机台下面 地面 桌面 表面 没有任何的污垢 用蘸酒精的抹布从左往右单一方向擦拭干净 插片人员 用蘸酒精的抹布单一方向擦拭干净 用蘸酒精的抹布擦拭 用拖把单一方向 点检有无杂物及溶剂污渍 桌面 表面 没有任何的污垢 用蘸酒精的抹布从左往右单一方向擦拭干净 插片人员 用蘸酒精的抹布单一方向擦拭干净 点检有无杂物及溶剂污渍 RothRau 5S作业步骤及作业事项 岛津 5S作业步骤及作业事项 桌面物品按要求摆放，桌面不允许乱涂乱画 点检有无杂物及污垢，机台顶部不允许堆放任何物品 腔体 用吸尘器从左向右沿单一方向吸取氮化硅粉尘 检查电极板是否有氧化，螺丝是否脱落 清扫时人员要佩戴防护眼镜、口罩、手套等 表面不允许摆放物品 P/M维护 用拖把单一方向拖 拖把 吸尘器 用蘸酒精的无尘布擦拭 无尘布 无尘布 1.00 2.00 3.00 4.00 5.00 6.00 1.00 2.00 3.00 4.00 5.00 6.00 7.00