2013_0509_北航_传感器技术及应用_014_to.ppt

4.5 热电式传感器 4.5.1 概 述 4.5.2 热电阻测温传感器 4.5.3 热电偶测温 4.5.4 半导体P-N结测温传感器 4.5.5 其他测温系统 4.5.6 应用实例 * 仪器科学与光电工程学院 School of Instru. Sci. Opto-electro. Eng. * 传感器技术及应用 第1部分：绪 论 第2部分：传感器的输入输出特性 第3部分：传感器敏感结构的力学特性 第4部分：几种典型的模拟式传感器 第5部分：谐振式传感器 第6部分：发展中的传感器新技术 第7部分：总 结 ? 课 程 内 容 4.1 概 述 4.2 电位器式传感器 4.3 应变式传感器 4.4 压阻式传感器 4.5 热电式传感器 4.6 电容式传感器 4.7 变磁路传感器 4.8 压电式传感器 第4部分：几种典型的模拟式传感器 4.4 压阻式传感器 4.4.1 压阻式变换原理 4.4.2 扩散电阻的阻值与几何参数的确定 4.4.3 压阻式传感器温度漂移的补偿 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻系数 纵向压阻系数 横向压阻系数 纵向应力 横向应力 4.4.1 压阻式变换原理 压阻系数矩阵 压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 P型硅： N型硅： 可忽略， 可忽略， 压阻系数矩阵 压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 压阻系数 P 方向在标准的立方晶格坐标系中的方向余弦 任意晶向的压阻系数 Q 方向在标准的立方晶格坐标系中的方向余弦 4.4.1 压阻式变换原理 (1) 计算(001)面上010晶向的纵向、横向压阻系数 计算实例 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 (1) 计算(001)面上010晶向的纵向、横向压阻系数 计算实例 (2) 计算(100)面上011晶向的纵向、横向压阻系数 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 (1) 计算(001)面上010晶向的纵向、横向压阻系数 计算实例 (2) 计算(100)面上011晶向的纵向、横向压阻系数 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 (1) 计算(001)面上010晶向的纵向、横向压阻系数 计算实例 (2) 计算(100)面上011晶向的纵向、横向压阻系数 (3) 绘出P型硅(001)面内的纵向和横向压阻系数的分布图 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 计算实例 (3) 绘出P型硅(001)面内的纵向和横向压阻系数的分布图 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 计算实例 (3) 绘出P型硅(001)面内的纵向和横向压阻系数的分布图 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 计算实例 (3) 绘出P型硅(001)面内的纵向和横向压阻系数的分布图 压阻系数 任意晶向的压阻系数 4.4.1 压阻式变换原理 4.4 压阻式传感器 4.4.1 压阻式变换原理 4.4.2 扩散电阻的阻值与几何参数的确定 4.4.3 压阻式传感器温度漂移的补偿 4.4.4 典型的压阻式传感器 自 学 压阻式压力传感器 压阻式加速度传感器 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻式压力传感器 —— 敏感结构 硅杯：周边 固支圆膜片 4.4.4 典型的压阻式传感器 压力： 周边固支圆膜片应力 压敏电阻的变化 电桥输出 p 框图？ 压敏电阻的变化 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻式压力传感器 ——工作机理 —— 特性方程 P型硅(001)面内 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻式压力传感器 P型硅(001)面内 选取 选取 径向 环向 4.4.4 典型的压阻式传感器 —— 特性方程 压阻式压力传感器 P型硅(001)面内 4.4.4 典型的压阻式传感器 —— 特性方程 压阻式压力传感器 4.4.4 典型的压阻式传感器 —— 特性方程 压阻式压力传感器 4.4.4 典型的压阻式传感器 —— 特性方程 压阻式压力传感器 —— 测量误差(温度误差) —— 改进措施(温度误差) 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻式压力传感器 压阻式压力传感器 —— 应用特点 —— 集成式传感器 —— 先进的传感器 —— 微机械传感器 —— 智能化传感器 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻式压力传感器 —— 工业自动化领域 —— 能源、石油化工 —— 航空航天地面测试 4.4.4 典型的压阻式传感器 ——典型应用 框图？ 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻式压力传感器 压阻式加速度传感器 4.4 压阻式传感器(小结) 4.4.1 压阻式变换原理 4.4.2 扩散电阻的阻值与几何参数的确定 4.4.3 压阻式传感器温度漂移的补偿 4.4.4 典型的压阻式传感器 压阻效应的“综合性