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第20卷第4期增刊 仪器仪表学报 1999年B月
干涉显微镜的参考相位调制研究。
刘 冲 郭隐彪 (重庆大学机械传动国家重点实验室重庆400044)
张凤生 (青岛大学机电学院青岛266071)
摘要干涉显徽镜可用于超精加工表面的加工质量评定，但是这种方法无法获得表面形貌图，因而难以全面评定表面的加工
质量．本文提出了一种干涉显徽镜的参考相位调制方法，配以CCD摄像机、图像处理系统和微型计算机．可获取超精加工表
面的形貌，并能全面评定表面加工质量。丈中论述了其中的参考相位凋制实现方法，给出了实验结果。
关键调干涉显微镜相位调制轮廓
ResearchonReferencePhaseModulationofInterference
Microscope
Liu Guo 400044)
Chong Yinbiao(ChongqingUniversityChongqing
Zhang University 266071)
Fengsheng(QingdaoQngdao
AbstractInterfercnce isusedtOevaluatethe of surface．Becausethesur—
microscope roughness
superfinishing
faceprofilecannotbeobtainedwiththisinstrument，theevaluationis this methodof
incomprehensive．Inpaper，a
referencemodulationis forward．ThemethodcanbeusedtOobtainsurface withCCDcamera，
phase put profile
in referencemodulation
and aninterference of
imageprocessingmicrocomputer microscope·Thetechnology phase
isdiscussed，and resultsare inthe
experimentalgiven paper．
wordsInterference PhasemodulationProfile
Key microscope
次完整的报导了一套波面自动测量系统。在轮廓测量
1引 言 领域，相移干涉技术的应用也很广泛，如：正弦相位调
制干涉仪，测量面振动法外差表面轮廓仪等．其中最具
于涉显微镜是非接触测量仪器
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