国产无蜡抛光垫制备--对涂布工艺地研究.pdfVIP

国产无蜡抛光垫制备一对涂布工艺的研究 孙振华王皎瑜李扶利王维平张云波刘强 (天津市半导体技术研究所 天津：1000．61) 无蜡抛光姒它的优越性得到广泛的应用，但随着工艺及技术的发展，对蜡抛光提出更高 高的标准，因而对制备无蜡抛光垫的工艺提出丁更严格的夏求 下面就制备抛光垫工艺中关 键问题做一探讨 无蜡抛光垫主体一聚氯酯薄膜的形成是无蜡抛光制备工艺中最关键的同题．我们生产的 的聚氨醋薄膜是采用湿法涂布，率方法在形成一定厚度的薄膜时，会受到原料的分子量、硬 度．浓度．牯度等诸多因衰的影响，所以对豫布工艺中有关问题做一详细论述．聚合物形成 薄膜关键是徽孔结构的形成，从理论上讲如何在耜转化这一过程中，包括双组份或多组份的 液体均相聚舍物溶液转变为两相体系即固相一形成刚性膜结构的富聚合物和渡相一形成族孔 的贫聚合物．任何聚台物均可得到相分离．在一定温度和组份下，分离成两相为得到象膜一 样徽孔体，两相都要连贯而液相不连贯，只能得到闭孔泡沫结构如果固相不连贯则只髓得到 聚舍物粉末，而得不到刚性结构．因此在涂布工艺中应注意以下几个问题。 一．涂布工艺中原料的选择： 我们确定主体原料为聚氡酯弹性体。为了适应工艺的要求，我们考虑原料的配比：浓度 的选择．原料硬度变化对形成薄膜的弹性的影响，不同分子蠡的弹性对粘度的影响，以及不 。囊∞≮嘲等。蔫旃案$穗。。矗，■o；、≮， 同原辩粘度对涂布速度的影响等等因素 通过各方面的试验和对各种不同浓度的选择对比发现凝固浴湿度不同对各种不同种不同 浓度的浆料有若一定的影响，试验中我们采用不同分子量的原料．在固定浓度和温度下，治 厚度方向出冠迅速均匀地凝固变化，得出采用粘度和浓度适中的聚氯酯弹性体，所得到薄膜 情况不一样(见表1) 表I不同分子量所得薄膜情况表 分子量6(}00 分子量9000 部氏硬度 j0 4S 表面结构 疏松(图一) 致密(图三) 簟。连≤■t蠹鼋建吨．，落．羚 断面结构 指形孔菅粗管柬问隙太(圉二) 指形孔管细、管柬问隙小(图罔) 成型情况 收缩小 l睫缩太 弹性比较 柔软 弹性甍发硬 吸附能力 强 鼍 =7．潦布I艺中浆书l牯度、薄瀵卑度与托逸关系 台理配制浆料羊占度(往固定的洙J皂F’柚1阿确定薄脯的擘耀l_Kf0造∞确定．这些部是 湿扶橡市的鼍键 l 嚏州帕牯j＆确定： 303 h 浆料的牯度确定和浆料浓『《n讯人梵糸，如果浆利料j堑j立犬，这样在湿法苏斯，生群’1’， 吲艘交界面l，诌出耽气池．气池晒苻滕的走动在液晰卜。穿梭“此现象出现就得计i弘村韶 孔的薄膜，如果粘鹰过坻流刳．和沈平性不好，同时亍fj[丽J浮仃崖。油膜“_这样影响薄膜的 平整性，通过实验丧吲，浆利的敞鹰扫．20—30％如宜，mi粘鹰却…cJfI～2f}㈨拷!桷为好 2。薄膜的厚鹰确定： 薄膜厚度的确定是决定薄膜造孔的好坏，且塾的平整重要周索根据，涂布薄膜厚度公式决 定