基于图象处理的自动调焦方法中清晰度判据函数地研究.pdfVIP

第20卷第4期增刊 仪器仪表学报 1999年8爿 基于图象处理的自动调焦方法中 清晰度判据函数的研究+ 白立芬 于 水 薛实福 李庆祥 (清华大学精密仪器系北京100084) 摘要图象处理法是一种比较理想的自动调焦方法，其核心就足清晰度判据两数的选择。本文总结多年研究成 果，介绍了清晰度判据函数的分类和几种常用的判据函数：基于剖象直方图、基于图象微分和基于图象对比度的 判据函数，并提出了一种基于图象积分的判据函数～～功率积分函数．洋细介绍了它的原理。利用自行研制的大 规模集成电路线宽测量系统，选用不同的测量对象和测量参数，对各种判据函数的单峰性、准确性、重复性、调焦 范围等调焦性能进行了测试和分析．绘制了-调焦曲线，给出J’分析结果。 关键词图象处理 自动调焦功率积分函数 ontheDefinitionFunctionofthe Study Judging MethodBasedon Autofocus ImageProcessing BaiLifenYuShuiXueShifuLiQingxiang and 100084) (PrecisionInstrument17echn0109，、Z■inghuaUniversiCvt the oftheautofoeusmethodbasedon this AbstractDefinitionfunctionis key imageprocessing．Inpaper judging the function．Withtheline——width severalfunctionswereintroduced．especialypowerintegration characteristicsofthesefunctionsweretestedand assole systern．the analyzed，suchpeak resultshowsthatthefunctionbasedonthe istheone and powerintegration cy，repeatabilityfocusingrange．The ofthebestfunction． AutofocusPowerini Imageprocessing egration Keywords 1引 言 2清晰度判据函数 在精细图形的非接触测量中，采用ccD——图象 当物面沿垂直方向运动时，通过显微镜后所成的 采集卡—～计算机图象处理的光学图象测量技术得到 了很广泛的应用，例如：表面形貌非接触测量系统、 大规模集成电路线宽测量系统、大规模集成电路台阶 高度测量仪的观察系统、栅冈参数测量系统等。采用该 系统进行光学图象清晰度的自动判别，从而实现自动 调焦，也是一种简便实用、精度较高的自动调焦方 法。 囤I 清晰度判据函数模型 ·本项目受国家自然基金资助 “