基于ZnO%2fSiO-%2c2-Si结构SAW射频滤波器研究.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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基于ZnO%2fSiO-%2c2-Si结构SAW射频滤波器研究.pdf

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IIil}i 1{ 杨磊任天令刘理天 (清华大学微电子研究所，北京，100084) 摘要 ZnOtSi02／Si结构的SAW滤波器因其能够和其它电路集成而在RF领域受到越来越多的关注。本文介绍了该结构的工作原理，给出了在设计过程中的衬底参数选择，并对叉指结构进行了设计，最后用Matlab中的SIMULINK工具对镜像阻抗连接结构进行了特性模拟．井得到了其频响益线。关键词 ZnO／Si02／Si结构，声表面波滤波器，射频电路． RF onZnO／SiOz／SiBasedSAWFilter Study LeiRen LiuLi-Tian Yang Tian-Ling of (InstituteMicroelectronics，Tsiaghnil of device Abstract ZnO／Si02／Si monolithic SAW Using structure，the integration layered of andIDT circuitcanberealizedSome theZnO／Si02tSi withelectronic principlesdesigning afe this connection sttucttnes in SIMULINK．the presentedpaper．Using image-impedance is its is Su’Ucture simulated，then frequencyresponsegiven． ZntD／SiO,-／Si connection Keywords layeredstructure，imageimpedance structure，IDT §1．前言随着第三代移动通信技术日斟完善，对商品质频率选择器件的要求越来越高。在这方面