压阻式传感器多路温度补偿系统的设计.pdfVIP

2014矩 仪 表 技 术 与 传 感 器 2014 第 8期 Instrument Technique and Sensor No．8 压阻式传感器多路温度补偿系统的设计 彭军皓，蒋 庆，汤建斌，周乔军 (中国计量学院计量测试工程学院，浙江杭州 310018) 摘要 ：为解决压阻式传感器存在的温度漂移 问题，设计 了一种基于MAX1452信号调理芯片的多路 自动温度补偿 系 统。介绍 了传感器多路 自动温度补偿系统的整体结构，着重阐述了系统的软硬件设计和 自动补偿过程。利用设计的多路 校准模块，系统一次可以补偿 80只传感器。实验结果表明：整个系统工作稳定，传感器经过补偿以后在一30～90℃温度 范围内稳定特性 良好且综合误差不大于0．4％。 关键词 ：压阻式传感器；温度漂移；多路 自动补偿 ；MAX1452 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2014)08—0001—03 Multi—channelCompensatingSystem ofPiezoresistiveSensor PENGJun—hao，JIANGQing，TANGJian-bin，ZHOUQiao-jun (CollegeofMetrologyandMeasurementEngineering，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China) Abstract：Inordertosolvetheproblem ofpiezoresistivesensor’Stemperaturedrift，amulti-channelcompensatingsystem of piezoresistivesensorbased onMAX1452waspresented．Theframeofthismulti—channelcompensatingsystem wasintroduced． Thispaperdescribedthedesignofsoftwareandhardware，andtheexecutiveprocessesofcompensation．Thesystem cancompen- sate80sensorsonceatimewithmultiplecalibrationmodules．Theresultsshow thattheitisareliablesystem withgoodeffect， whichthepressuresensorislinearfrom 一30℃ tO90qC andtheprecisionofpressuretestingisbetterthan0．4％。 Keywords：piezoresistivesensor；temperaturedrift；multi·channelautomaticcompensation；MAX1452 0 引言 多 路 校 准 模 块 压阻式传感器具有功能强、精度高、体积小、微功耗和高性 计 价比等优势，它在航空、航天、医疗 、生物和海洋工程等各个领 域得到了广泛应用…。但由于半导体材料的固有特性 ，压阻式 算 传感器普遍存在着一致性差、温度漂移和非线性等问题，其 中 温度漂移对传感器精度影响最大 “。因此，实现传感器批量 机 画画…嘲 化 自动温度补偿是一件非常重要工作。 精 密 压 力 控 制 器 目前，传感器的温度补偿方案有很多种 J，文中针对集