常压微波等离子体反应器设计与实现.pdfVIP

·设备设计与开发· 常压微波等离子体反应器的设计与实现 赵冰，陈 彦，童玲，张兆镗 (电子科技大学，四川成都611731) and of PressureMicrowavePlasmaReactor DesignImplementation Atmospheric ZHAO Bing，CHENYah，TONG Ling，ZHANGZhao-tang ElectronicScienceand 611731，China) (Universityof TechnologyofChina，Chengdu Abstract：This a ofan microwavereactorbasedon paperpresentsdesign atmosphericpressure plasma BJ26 reactora roleinthe of with rectangularwaveguide．Microwaveplayskey generationplasmarectangu— lar structure．Theelectricfielddistributionofdifferent compression rectangularcompressionwaveguide issimulatedwiththecodeofAnsoft Structure further cavity HighFrequency ofthe microwavereactoris stableandad— optimizingcavity，anatmosphericpressure plasma produced．A microwaveof GHzis reactorintothemicrowave 2．45 achieved the justable plasma byinstalling system． Keywords：Atmosphere，Microwaveplasma，Reactor，HFSS 摘要：本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器。微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用， 本设计中采用了矩形压缩波导结构。首先运用AnsoftHFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算，得到不同矩形压缩波导腔 体内的电场分布，从而对腔体进行了优化设计，最终制作了常压微波等离子体反应器。将反应器安装在微波系统中，获得了 频率为2．45GHz功率可调的稳定的微波等离子体。 关键词：常压；微波等离子体；反应器；HFSS 中图分类号：TNl2 文献标识码：A 文章编号：1002--8935(2013)06一O∞4一04 等离子体的产生方法有直流放电、射频放电、微 究具有良好的发展前景和工业价值H咱]。本文对产 波放电等。直流放电的缺点是有极放电、密度低、电 生大功率微波等离子体做了初步的探讨，设计了一 离度低、运行气压高；射频放电虽然密度和电离度有 个可随时产生微波等离子体的开放系统，以期在本 所提高，但应用范围受限；而微波放电技术与上述等 设计的基础上可以通过进一步的研究实现系统放 离子体产生技术相比，具有能量转化效率高、不会产