扫描电声显微镜成像技术的研究.pdfVIP

电子显微学报 K D L?3* D 6.-(/0 D 83(01’( D 51( D !!（） 年 J MJ% N J !##% J% 扫描电声显微镜成像技术研究 高椿明，张淑仪，张仲宁，水修基，方健文! （南京大学近代声学国家重点实验室，江苏 南京!##$%； 浙江师范大学物理系，浙江 金华 %!## ） ! 扫描 电声显微镜（ 显微镜成像，可看到晶粒形貌如图 所示。图 ’()**+, -.-(/01* )(12’/3( ( @ ）问世以来，作为一种新的显微成像手段， 和 中晶粒位置基本吻合（如图 中的 、、、等 +3(01’(14- ( ) @ ( A 在众多的材料研究领域得到了广泛的应用，并日益 晶粒），表明5678 像反映了表面层的铜晶粒分布， 显露其独特的成像本领。为此，我们对原建立的 且不受表面划痕的影响。 5678 系统，通过增强电子束流强度和改善调制电 相位调节分层成像 路，使得系统的信噪比和空间分辨率大为提高。然 （）紫铜的残余应力分层成像：首先用脉冲强 7 后利用该系统对集成电路的结构、压电材料的电畴 激光多次冲击紫铜样品，在其表面形成小坑。然后 分布、微硬度计或激光冲击金属的残余应力、小鼠的 用5678 在! B $C D C EFG 时，对冲击区域成像，得到 肝脏、心脏和肌肉组织、人的角膜组织、激光或电子 残余应力分层成像见图 。对比图 到 ，可以清 ! !) !: 束辐照引起生物组织损伤等进行了成像研究，得到 楚得到随着深度变化，残余应力分布也逐步改变，同 了很有特色的结果，说明5679 技术是一种具有特 时，根据参考相位 !及紫铜的热扩散长度，估计成 殊功能的微观检测技术。 像深度 也在图中标出。 A 扫描电声显微镜（ ）成像原理 （）小鼠肝脏组织的分层成像：图 所示为 !#$ H %) 以扫描电子显微镜（ ）为基础，在其电子枪 像，图 为 像，两图中都可以清楚地看 568 568 %@ 5678 与磁透镜之间安装调制极板，并加上适当频率（）调 到一个管状结构横穿整个组织。图 和图 相 : %) %@ 制电压，实现对扫描电子束流强度的调制。经过调 似，说明5678 像可以反映肝脏表面附近的形貌。 制的电子束入射到样品，周期性地加热样品表面而 而另外的两幅 分层成像图 和 中可以看