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2004’全国真空冶金与寰面工程学术研讨会会议论文童
GCrl5合金表面制备氮化钛涂层的工艺研究
周慧，肖国珍，李争显，杜继红，黄春良
(西北有色金属研究院，陕西西安710016)
摘要：氮化钛涂层因具有良好的耐蚀性、耐磨性及低的摩擦系数在工业上得到广泛应用。本文研究了采用离子镀技术在
GCrl5合金表面制备氮化钛涂层的工艺，通过研究获得了该合金有效的镀前清洗工艺，使用该工艺可以使合金基体获得很高
的表面清洁度．从而提高了涂层与基体的结合力。由于氮化钛涂层与基体GCrl5合金之间的热膨胀系数存在较大差异而造成
的残余应力，会导致裂纹的产生，在本研究中通过在台金表面加镀一层纯钛作为过渡层，有效的降低了残余应力的影响，本
文分析了镀膜工艺参数：氮气的分压力、负偏压、沉积时问及沉积温度，与氮化钛涂层性能之间的关系。通过合理的工艺参
数控制，最终在GCrl5合金表面制各出具有良好结合力和耐磨性的氮化钛涂层。
关链词：QCrl5合金：氯化钛涂屡：离子镀
onthe nitride onGCrl5
oftitanium alloy
Study preparation coatings
ZHOU
Hui，XIAOGuo-zhen，Li
Zheng—xian，DuJi—hong，HUANGChun—liang
Institutefor Metal
Nonferrous
(Northwestern
Abstract：Titaniumnitride has in toits as wearandCOITOSiOn
coatinggreat industryowingsuperior good
application properties，such
frictioncoe艄cieotand thcmtalbarrier Inthe the ofTiNhard onGCrl5
resistance，lOW good propeniasPapeLpreparation coatings
a WaSstudiedTheresearchhas aneffective
substrateviahollowcathode
alloy discharge developed washing
ion-platingtechnique
ItCan very surfacecleanlinessfortheGGrl5substrateThis increasetheadhesion of
processprovidehigh alloy c面greatly strength
iothermal betweenand
TiN Theresidualstresses．resultedfromthe ditiereBeC coe伍cient substrate，
comings large expansion coming
cause lnTiN aTi onGGrl5substrate．theeffectofresidualstressesCanbe
Can eracks coatings．Throughdepositinginterlayer
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