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2017-08-13 发布于北京
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Sentaurus TCAD 2007.03 培训（XXXX 计算机学院XX 组）目录 Sentaurus TCAD 培训 1 工具简介2 A．TCAD 是什么？（10 分钟） 2 A.1 TCAD 与半导体工业 2 A.2 工艺模拟2 A.3 器件模拟2 B．TCAD 包含哪些工具？（20 分钟）3 B.1 Sentaurus Workbench 3 B.2 Ligament4 B.3 Sentaurus Process4 B.4 Sentaurus Structure Editor（SDE） 5 B.5 Mesh and Noffset3D5 B.6 Sentaurus Device 6 B.7 Tecplot SV 6 B.8 Inspect 7 B.9 Calibration Kit 7 SWB 8 A. Getting Started（15 分钟） 8 A.1 概述8 A.2 启动SWB 8 B. 运行工程（30 分钟）9 B.1 加载SWB 工程9 B.2 改变树的显示属性10 B.3 清空工程目录10 B.4 运行工程10 B.5 查看输出结果11 C. 创建工程（30 分钟）11 C.1 设置工具流11 D. 组装多个实验（30 分钟）12 D.1 添加参数12 D.2 设置多个实验13 D.4 创建方案14 D.5 裁剪工程树15 D.6 添加变量15 Ligament16 A. Getting Started 10 min 16 A.1 简介16 A.2 Ligament 流程编辑器16 A.3 Ligament 版图编辑器16 A.4 Ligament Translator16 B. Ligament 流程编辑器 30 min16 i Sentaurus TCAD 2007.03 培训（XXXX 计算机学院XX 组） B.1 启动Ligament 流程编辑器 16 B.2 开始装配一个新的工艺流程 17 B.4 改变宏调用的参数17 B.7 用户定义的变量17 B.8 转换和语法检查18 C. Ligament 版图编辑器 30 min 19 C.1 启动Ligament 版图编辑器 19 C.4 保存版图19 C.6 定义模拟区域19 C.7 使用版图20 D. 在SWB 中运行Ligament 30 min 20 D.1 在SWB 中启动Ligament 工具20