金刚石低压气相生长热力学模型.pdfVIP

金刚石低压气相生长热力学模型 王季陶 (复旦大掌，电子工程系．上海2∞43】’ 摘要：救活低压金融石新工艺中金喇石气相生长和石墨■蚀可以同时发生的穰，给经典 热力掌带来困毫．无法用显典的平蕾相凰来培予鼻霉。从l9帅年起蠢们计算了谈工艺的一鬻 列羊平■豁相圈与文tE报道的大量实■●实据符。奉文根据理代热力学分类囊麓船嘲定态 相圉曲曩糊诵I是垂平奢霉耗魅肋掌。章平膏帮嘲嘲劬学是—十全新曲热力学分克曩■。 美娴：热力掌．反觑胎，尊平撤，相田。金翳石 作为经^热力掌蹲—们翻懈量曩立体囊曲■增加隳菖 郴k20 ‘1) 并iL为等号对应于平夤体系其中只有可逆过程。不等号对应于非平夤俸纛其中存在不可遵过 程。它只适用于较膏蝴立体摹躺赫封目体曩。作为现代热办学的—个重蔓糕■量避甩 予任冀搏轰的正冀产生蘑臣 啦20 国 传t上也羹薯弘为辱号蹿摩于只有可逆过蠢盼乎夤俸蕞，不等号对应予存在不可遗过舞的{等平 鸯露囊。Cn式朗子任艇立、封闭翻开藏雏纛，西此它量第二定律更瞢毫盼表瘩封‘对。 由乎奉搬恕。嗡目吼翱钿噜-譬等稿膏碍q融幻晴事穷圈强唤出贼非平栩翻为孽相嗽～ 步舶甓赡蠢曩同订略鬯哇勇鼎埔功掌力J翱韵l力目，薯．，的关l酾为哇％性，再区劈嘎埔嘲生幸平衡 热力掌私事烧性事平■溉力掌．在墨典和抟麓蕾力掌中对分支援■舶期分如图l魔幕。如暴在 田l忱滞k触啦硼吨聃姨懈刚蝴以来．划蜩酗20来雌懈k ≥O辑囊遴屯仅仅只量—憎式E的奎化并幂‘L为d声≥O量斑代热力拳的第=定膏袭选式。 也科^为砑卜dEI豳耵嘲电使囊憾力幸国营曝奠为之目幻蠢。 aU‘蠲薯：^L0t啊U∞rna‘“n撕瑚■X岬M^MICS 砸嘲■xq口H窖tq ，一一 、 a__∞a叫- n■州日—I妇T曩—州№-■豳-蛔 卫__—扣_一砸—_—扣_蕊 忡I回-．-哪甘H声lq-雌两-田啊I‘声，哪 ，一，＼ “■_’—-_■■b^-No中h埘喇删ih栅 Tknb睁—_啊k曩岫岛-—啊 瞰岫_t■l 附’0州_■■N 舶I妇h悯f·■JJn蜘k悯譬刊JJ No■：x_，伯——-●啪_由口-■蛔蝴■嘲瑚由撕■cfIo_l打 ■坤—曲■—∞I棚■冀瞄懈Iy 圈l曩囊袁传麓热力学的分类系缱 R玉l鼬出m畦捌喀帅orc酬甜n砌6∞-I讳m∞由懈n；cs 理代热力学经历了七^十年的发晨，井据有爵项№kI奖的贾簟(即I螂年稃羹的 0n雌r僻矗关系式和1977年得奖的硝窖。西僻耗t螭构理论’．对自身曲基■I生分类曩魔勾投 I_F一一……一——珊勰丽～ 有找到正确的答案。其根本碌因在于现代热力学舶一个重要推论——反应耦台原理长期投有 得强定量化的证明。一旦此同题得到解决，热力学的分类系统也蕊应刃葡懈，并为定态相图提 供坚实的理论基叠。 l现代热力学的第二定律 在现代女劬学中体系的熵变衄被分为体系的熵漉dJ和体系的熵产生d4两个部分。因此 峦=啦+茚 (3) dJ的定义墨由于体系与环境