的加工技术及应用.pdfVIP

2005 年第 33 卷第 6 期 　　　　　　　　　　流 　体 　机 　械 　　　　　　　　　　　　　　　　 29 ( ) 文章编号 : 　1005 —0329 2005 06 —0029 —06 技术综述 微型泵的加工技术及应用 陆 　峰1, 2 , 谢里阳2 ( ) 1. 沈阳建筑大学, 辽宁沈阳 　110168;2 东北大学, 辽宁沈阳 　110006 摘 　要 : 　微型泵是微流体系统中的重要执行元件, 标志着微流体系统的发展水平。详细介绍了微型泵的种类、加工技 术、应用前景以及国内在该领域的研究状况。 关键词 : 　微流体系统; 微型泵; 驱动; 流量;DRIE 技术 中图分类号: 　TH137. 51 ;TP271 　　　　文献标识码 : 　A Investigation and Application on Micropump LU Feng1 ,2 ,XIE Liyang1 ( 1. Shenyang Architecture University ,Shenyang 110168 ,China ;2Northeastern University ,Shenyang 110006 ,China) Abstract : 　The micropump ,as an important actuator ,is the symbol of the development level of micro fluidic systemThe kind and the process technology of micropump are introduced particular ,and its application prospect and the domestic research status also are discussed in detai Key words : 　micro fluidic system ;micropump ;drive ;flow rate ;deep reactive ion etching 1 　引言 型泵的研究动态, 本文主要讨论微型泵种类及应 用情况, 并对微型泵的加工技术做详细介绍。 从 20 世纪 80 年代开始, 微机电系统已逐步 从实验室探索阶段进入工业应用时期。微流体系 2 　微型泵的分类 统是微机电系统中的一个主要研究方向, 它具有 微型化、自动化、集成化以及能批量生产等特点, 微型泵根据其有无可动阀片分为有阀型微型 并且由于尺寸小, 能减小流动系统中的无效体积, 泵和无阀型微型泵两大类。有阀型微型泵往往基 降低能耗和试剂用量, 而且响应快。因此, 近年来 于机械驱动, 原理简单, 制造工艺成熟, 易于控制; 它在医疗保健、环境控制、化学分析和生物工程等 而无阀型微型泵则常常利用流体在微尺下的新特 领域中具有巨大的市场应用前景。 性, 原理新颖, 更适于微型化, 具有更大的发展前 微型泵作为微流体系统中的主要执行器件, 景。 是表征微流体系统发展水平的重要标志。最早的 21 　有阀型微型泵 微型泵是荷兰 Twente