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印制电路板激光微孔研究.pdf
5 3 Vo l. 5, No . 3
2007 6 O PT ICS OP T O EL E CT RO NI C T ECH N OL OG Y June, 2007
: 2007)
印制电路板激光微孔研究
颜庙青 朱海红 程祖海
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激光微孔技术是当今印制电路板向高密度互连技术发展的 键, 采用U V Y A GRF CO2
和T EA CO2 三种激光器在 FR4 基板上作微打孔工艺研究, 得到了激光波长脉冲宽度脉冲能
量和光学系统构成等一系列参数对微孔孔径和质量的影响及规律研究结果表明, 波长短及脉
宽窄的激光脉冲合适的扩束装置及透镜焦距能有效地减小微孔孔径和提高孔的质量此外, 通
过设计光学系统, 还用自行研制的T EA CO2 激光器成功打出了孔径在 150 m 以内的微孔
印刷电路板; 激光微孔; 工艺研究; 机理
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