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基于DSP的激光外差干涉信号处理方法_赵思维.pdf
浙江理工大学学报, 第28 卷, 第2 期,2011 年3 月
Journal of Zhejiang Sc-i Tech University
Vol.28, o.2, Mar. 2011
: 1673- 3851 (2011) 02- 0217- 04
DSP
, , , ,
( 浙江理工大学纳米测量技术实验室, 杭州310018)
: 描述激光外差干涉测量 原理,设计基于DSP 激光外差干涉信号处理方法, 用DSP 捕捉单元获取
参考信号和测量信号 上升沿时间差,在捕捉单元中断中计算测量信号周期, 由DSP 将时间差转化为相位差并得出
被测位移采用信号发生器模拟两路输入信号,在 0~ 360b范围内进行相位差测量实验, 测量结果表明标准偏差为
0.041b线性拟合相关系数为0. 999 89以20 nm 为步长在0~ 320 nm 范围内进行位移测量实验, 实验结果表明标
准偏差为2. 46 nm线性拟合相关系数为0.999 71,验证了所设计 信号处理方法 可行性和实用性
: 纳米测量; 激光外差干涉; 信号处理; DSP; 捕捉单元
: T H741 : A
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( field-programmable gate array, FPGA) ( com-
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plex programmable logic device, CPLD) ,,
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