TFT-LCD用基板发展现状及趋势.pdfVIP

全国性建材科技期刊— 《玻璃》 2006年 第 1期 总第 184期 TFT-LCD用玻璃基板发展现状及趋势 李 超 (中国耀华玻璃集团 秦皇岛市 。66000) 摘 要 阐述了薄膜晶体管型液晶显示器即TFT-LCD的性能和TFT-LCD用玻璃基板的发展现状，介绍了这 种玻璃基板的浮法、狭缝下拉法、溢流熔融法等几种生产方法，并展望了TFT-LCD玻璃基板的发展趋势和发 展方 向 关键词 TFT-LCD 玻璃基板 发展 中圈分类号 :T0171 文献标识码 :A 文章编号 :1003一1987 (2005)06一0015一04 随着科学技术的进步和信息技术的迅猛发展， 用。虽然玻璃基板只占TFT-LCD原材料成本比 具有质量轻，图像细腻、清晰，色彩丰富、自然、 重的6%左右，但却是最最重要的元件。TFT- 逼真等优点的薄膜晶体管型液晶显示器 (即TFT LCD生产线更新换代必须以玻璃基板厂家提供新 -LCD)正逐渐取代传统的阴极射线管 (CRT) 一代生产线所生产的玻璃基板为前提，否则一切都 显示器，预计未来几年将成为显示器的主流产品。 是空谈 。 TFT-1.CD是在无碱超薄玻璃上印刷微电子电路， TFT一LCD用玻璃基板的发展现状 主要特点是在每个像素 (像素就是一些能够发出彩 色光线的小点)配置一个半导体开关件，每个像素 玻璃基板又称素玻璃，是超薄、超平滑、超精 都是一个相互隔离的独立的晶体管，可以通过点脉 细无碱硅酸铝玻璃，其碱金属总含量要求在。.1% 冲直接控制，因而每个节点相对独立，并可连续控 以下。自上个世纪90年代TFT-LCD产业由日本 制，这样不仅提高了反应时间 一〔般可以达到80 第一代产品的生产，发展到目前康宁公司正在研制 ms左右)，同时在灰度控制上可以做到非常精确， 的第七代产品所使用玻璃基板已经历了7代。玻璃 这就是TFT色彩更为逼真的原因。 基板的切割片数有一个最佳经济值，达到这个值以 TFT-LCD是由偏光板、液晶面板，另外再 上意味着较高的生产效率，业界公认的经济切割片 加上背光源组成的 制作一片液晶面板需要两片玻 数是6,按照玻璃基板尺寸的大小划分生产线属于 璃基板，分别作为底层玻璃基板和彩色滤光片板使 哪一代 (见表 1)0 表 1 /mm 世 代 第 1代 第 2代 第 3代 第 4代 第 5代 第6代 第 ?代 对应尺寸 300X400 370X470 550X650 730火920 1300X 1200 1500义1800 1870X2200 目前在商业上应用 的玻璃基板，主要厚度为 碱;同时考虑重量和厚度，玻璃基板必须非常薄， 0.7mm或0.6mm，并且已经进人更薄厚度 (如 尤其对应大尺寸后，玻璃基板如果过厚，就会增加 0.4mm)的研制开发阶段。主要应用于液晶桌面 不少重量;玻璃基板要求高透光性，否则影响画面 显示器、笔记本电脑以及液晶彩电的面板制作中。 质量，所以必须要在无尘室中生产;玻璃基板还要 由于TFT-LCD模组在制造过程中需要真空 高平整度，其平整度要求比硅晶圆还要高。鉴于玻 蒸镀与刻蚀，因此玻璃基板必须耐高温、耐强酸强 璃基板生产技术的高度复杂与高深，全世界只有4 I5 全国性建材科技期刊— 《玻璃》 2006年 第 1期 总第 184期 家公司能够制造玻璃基板，分别是美国康宁、日本 然摊平，利用拉边机来控制玻璃的厚度和宽度。随 旭硝子、日本电气硝子和 日本板硝子。据初步统 着流经锡槽距离的增加，玻璃液逐渐冷却固化成 计，截止2004年底全球TFT-LCD用玻璃基板生 形，再利用