光栅传感器的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 山 东 工 程 学 院 学 报 月 光栅传感器 的研 究 岁 杨 淑 匕 连 曾 香 ‘ 电 学 ‘ 校 信息与 气 院 淄博市化工学 摘要 本 丈讨 论 了光橱 传感器 的设 计 原理及 结 构 , 并分析 了影响光橱 传感器 的主 要 因素 关链词 光栅 , 传感器 , 莫尔条纹 光栅传感器的结构原理 光栅传感器 的原理 光栅传感器是根据莫尔 条纹原理制 成 的 把光栅 常数相 等 的主光栅和 指示 光栅相 对 叠合在 一起 片 间留有很小 的 问隙 , 并使两者栅线之 阿保持很 小 的夹 角 ‘, 于 是在近 , 乎垂 直栅线 的方 向上 出现 明暗相 间的条纹 如 图 所示 在 一 线 上两光栅 的栅线彼此 , , , , 重合 光 线从缝 隙 中通 过 形 成 亮纹 在 一 线上 两 光线 的栅线彼 此错开 形 成 暗 纹, 这种 明暗相 间的条纹称为莫尔条纹 由图 可 以看 出, 莫 尔条纹 的斜率为 、 ‘ “ ‘ 万 ‘ 式 中 一 亮 暗 纹 的倾斜 角 一 两光栅 的栅线夹角 莫尔条纹 亮纹与暗纹 〕之 间的距离为 · ‘ 一 一