基于电子探针背景的精细测量方法.pdfVIP

第 39 卷 　第 1 期 吉 林 大 学 学 报 ( 工 学 版 ) 　Vol . 39 　No . 1 2009 年 1 月 Journal of J ilin U niver sit y ( Engineering and Technolo gy Edition) 　J an . 2009 基于电子探针背景的精细测量方法 1 ,2 1 2 姚 　立 , 田　地 ,姚 　杰 ( 1. 吉林大学 仪器科学与电气工程学院 长春 13006 1 ;2 . 吉林大学 测试科学实验中心 ,长春 130022) 摘 　要 : 由于 X 射线谱线的背景干扰和曲率变化 ,使得电子探针定量分析会产生误差 ,且元素 质量分数越低误差越显著 。为准确测量和扣除 X 射线谱线背景 ,研究了谱线背景的测量和扣 除方法 ,并设计了相应控制测量软件 。首先通过完善的元素特征 X 射线波长数据库判断出测 量元素的背景干扰情况 ,对有干扰或有曲率变化的谱线背景进行多点精细测量 ,再采用线性或 多项式拟合方法计算扣除背景 。对标准样品 IIIHN 8520 和 IE078l 进行了测试 ,结果表明 , 该方法比原方法降低了谱线干扰 ,提高了定量分析数据的准确性 。 关键词 :地质学 ;精细测量 ; 曲线拟合 ; 电子探针背景 中图分类号 :P575 . 1 　　文献标识码 :A 　　文章编号 :167 15497 (2009) 0 1024004 Accurate background measurement on electron probe YA O Li1 ,2 , T IAN Di1 , YA O J ie2 ( 1. Col leg e of I ns t rument ation an d E lect rical Eng i nee ri ng , J i l i n Uni ve rs i ty , Chang ch un 13006 1 , Chi na; 2 . Tes ti ng ) Center , J i l i n Uni vers i ty , Chang chun 130022 , Chi na Abstract :Due to t he exi st ence of int erf erence an d no nlinear back groun d in Xray sp ect r um , t here are er ror s in t he re sult s of quantit ative analy si s o n elect ron p robe , e sp ecially for t he lower element cont ent . In or der to mea sure and deduct t he Xray background int en sit y exact ly , t he back groun d mea surement and deduction met ho d wa s inve stigat ed and corre sp onding soft ware of cont rol an d mea surement wa s de signed . It wa s co mbined wit h several met ho ds , inclu ding det er mining t he int erference t hrough t he charact eri stic Xray sp ect ral dat aba se of t he