我国改良西门子法多晶硅生产技术进展.pdfVIP

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2017-08-12 发布于重庆
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我国改良西门子法多晶硅生产技术进展.pdf

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我国改良西门子法多晶硅生产技术进展.pdf

第3l卷第4期丘洛布色金属 V01．3lNo．4 201 0年12月 SHANGHAINONFERROUSMETAL$ Dec． 1 20 0 文章编号：1005—2046(2010)04—0167—04 我国改良西门子法多晶硅生产技术进展严世权1，叶芸华2 (1．上海市有色金属学会，上海200070；2．上海九。一厂，上海201600) 摘要：简述了近几年我国改良西门子法多晶硅的技术进展，列出了大部分已建和在建多晶硅厂(公司)。文中给出了多晶硅产量、电能单耗和SiCl4热氢化的一些数据，并指出-3前生产中存在的一些问题。关键词：改良西门子法；多晶硅；一次转化率；生产中图分类号：TN304．1+2文献标识码：B ofModifiedSiemens for Progress Technology Producing in SiliconChina Polycrystalline YAN Yun—hua2 Shi．quanl，YE SocietyofNonferrous 200070，China； (J．Shanghai Metals，Shanghai No901 201600，China) 2．ShanghaiFactory，Shanghai ofthemodifiedSiemens for Abstract：The siliconinChina progress technologyproducing polycrystaUine WaS the therecent reviewed．Factories werelistedwiththedatafortheir during years usingtechnology electric and of with outputs，unit hydrogenationSiCl4 consumptions given．Meantime，problemsexisting the were out． productionpointed Siemens words：modified silicon；one—timeconversion Key technology；polycrystalline rate；production