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2008 4 2008 ( 148 ) STUDY ON OPT ICAL COMMU NICATIONS ( Sum. No. 148) 1@ 3 光栅光阀式光开关分析与设计 , , (重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室, 重庆 400044) : 文章结合光栅光阀响应时间短和反光栅衍效率高的特点, 设计了一种光栅光阀式1@ 3 微型光开关理论计算和对比实验表明, 在波长为1. 3 Lm, 闪耀角和入角分别为5. 4b和0 b的情况下, 开关时间为微秒级与同类光开关相比, 这种开关具有开关时间短衍效率高和工作电压低的优点 : 光栅光阀; 光开关; 微电子机械系统; 衍角 :T N256 :A : 1005-8788( 2008) 04-0048-04 Design and analysis of 1@ 3 optical switch with grati ng li ght valve Wang Yuangan, Yu Honglin, Zhu Chuanxin ( Key Laboratory of O toelectronic T echnology and Systems, EM C, Chongqing University, Chongqing 400044, China) Abstract: On the basis of short res onse time of grating light valve and high diffract ion efficiency of reflection grat ing, a 1@ 3 micro o tical sw itch using grating light valve is designed. Theoret ical calculations and ex erimental result s indicate that when the o t ical w avelength is 1. 3 Lm and the blaze angle and incident angle are 5. 4b and 0b res ectively , the sw itching t ime is on the level of microsecond. Com ared w ith other similar o tical switches, it has the advantages of short sw itching time, high dif- fraction efficiency and low o erating voltage. Key words: grating light valve; o tical switch; MEMS; diffraction angle , Si3 N4 , , 1 , ( OXC) , OXC ( MEM S) 2 , MEM S 图1 光栅光阀结构 [ 1] , , MEM S 2D 3D , ,