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’ 2X64元双色红外焦平面探测器的研究 张难强 (华北光电五卡研究所，北京，t0001i) 能。对存在的主要问题进行J。蚕l-t．指Ⅲ丁改^兰了同。 一． 剐吾 陛：洚。该苴昌的最终目ri‘t壬研宣以苎j一面型FF、坟Kj谴提供：×128元探测器使用。 呈．箝冒夕、三经二-制刿：一．，5 l ．共该0司屯i生1育宅电亡愕占器罩j?H江j：≮平一舞；喇’j§， 1、128元多}!_}}污输器袍【j．s；)线。盲}1取．：。署趣斋K波范i，舌酋对亭波辐射敏感， 与C-jOS#路悖偷器』．蔓百是：#簟，’，jI|菩三一：，10‘c：nltz 的信息、，有必要开展更大“睽箱双邑FP．；嚣伴研宄， i。，2谣探测器_莩。未，粟q 经过一年响研究，己获得!×64 um波段的响应，,ICT6ti元线州器r}：对、-．二-m波段敏感。采』H 瓦加澉氮致冷。经融试．3一j4mj牡{箕。嚣雉位探洲率芷=到?、l i l×tO～7w，8一12Km波段臻；驯器的峰曼琛洲率返到_j ×IO’VjW。 二．结构设计 芒E结陶设计上，综合考也了 当前的技术水平和条限选择了 底窗金属杜瓦．宝石框桨，64元 线列中．长波探测器芯片，进口 C,)，IOS多路传输器。目l为冷头 结构示意图，由了采用金届杜丸 加液氮敦冷，冷头的热负载承受 能力较大．这给结构设计带*∈了 方便，但在框架的设计甲仍需考 虑如下问题： u McT光伏线列，光敏面积50reX25pⅢ．光敏面中心间距100uⅢ，与多路传输器之间 64 严 um． 25-m金丝对焊．两列探测器光敏面之间的距离200 三．工艺研究 在获得了具有一定!生能的中 长波探测器芯片后，工艺中重点进行了低损伤划片与高j 彦蔷前准工艺实验。庄以往的探嬲器研制早．勾了保汪划片不对探测器韵光敏元造成损伤{ pm由于双笆器件是采用两种不同{ 胡其性能，通常划片线与光敏面二二闽的距离均犬于500 翁芯片拼接而成，为了满足整机扫描使‘目要求并考感到两种芯片的拼接对准问题t需要相茹 交元较近距离的划片，以使两个波段的光敏元l葡距较小。为了确定划片对光敏元的损伤程层 进行了一系列划片工艺试验，试验方法如下：划片前在砥温探针下测量每个光敏元的V-I鹳 曲线并记录F开路电压和反向漏电流，划片后再重复此步骤．比较并统计出性能下降的光《 ．比洌。试验结果表明，光敏元性能的损伤与划片间距、进刀速度等参数有关，目前初步确i p 工艺数据可以保l正当划片线距离光敏面?5m时，性能下降的光敏元比例不超过5％。 划片后的拼接主要采用了冗名框架上设计出对准标记，然后结合测量显微镜进行拼接目 法。拼接后j{j金丝将光敏元与多罡；々传输器 对焊，装入液氮让瓦测试。 四测试结果与讨沦 测试时，驱动电路采用双色并行驱动J‘作，中波和长波备64元探测器串行读出，并在{ 进行信号合成和预处理，输出为合成后的模拟信号。在驱动电路的设计中，针对双色器件盘： 辣性，专门设计了针对两种不同材料及不同结型(1nSb为PN结，MCT为NP结)的驱动屯 盔蹬计中解决了如下问题： 双色探测器的脉冲驱动及相互之间的相位关系； b．般色搽测器的工作电流提供及相互之间的去耦： c般色探测器的偏置电压的选择及偏置电流的提供。 测试时驱动电路的一【：作参数见表l。测量结果见表2。 表I驱动电路工作参敷表 ＼．E作参数 行周j{}{ 祝分 !沤动电平 每位读 输出 偏置 器件类童＼ 时间 出速率 元数 电平 。 臣波探测器 400u