单片扫描QCM阵列的封装和浸液中频率稳定性.pdfVIP

单片扫描QCM阵列的封装 及浸液中频率稳定性 石志松1’2，朱惠忠3，梁吴迪1’z (1．清华大学精密仪器系，北京100084；2．清华大学深圳研究生院，广东深圳518055} 3．深圳清华大学研究院，广东深圳518057) 摘要：研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器，研究了器件的 封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式，研究了器件在单边触液条件下 的工作特·『生。阵列器件采用扫描工作方式，分时激励阵列中的备单元器件依次进入谐振工作状态， 使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态，避免了单元器件间的振动耦舍。实验制作的单片扫 描式QCM阵列传感器试验结果显示，阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度迭到±0．2x 101／h，液相平均频率稳定度达到±0．4×10／h。 关键词：石英微天平分析仪；阵列传感器；液相；扫描；生物传感器 and ofMonolithicQCM PackagingFrequencyStability Scanning Sensor in ArrayLiquid SHI Wu—di“2 Zhbsong“2，ZHUHui—zhon矿，LIANG atShenzhen ln日ituze 矗￡讲mUni．m．rs／ty，Shenehm518055，Chim}3．ResearchofTsinghua Shen—AJ,w．№m。ha518057，China) UnivesⅫm novelmonolithic Abstract：A microbalance)sensorfordetec— scanningQCM(quartzcrystal array in was ofthesensor tingliquidinvestigated．Thedesignaspects array．thescanning measuring resonant ofthesensor the circuit，the circuit，the aswellas ofthe packaging array performance device in were The that immersed resultsshowthedistancebetweene一 sample liquid investigated 1ectrodeshasnoremarkableinfluencetOtheresonatorswiththe modeof in operation scanning tothis