DMS在“二次配工程”系统(Hook+Up)之应用.pdf

半导体及液晶显示器等高科技产业之建厂过程中．从最初的建厂用地选择而后之规划设计及】：程施丁 以迄系统测试验收和设备搬迁入厂．这一系列的过程目的不外是希望生产线能早日量产．而扮演量产的终 结角色则是二次配系统下程(HOOKUP)。因此二次配工程可说是建厂1。程所有项H系统中之压轴重点．其 工程定义是为主厂务系统1二程的连接于工艺设备机台上之所有相关的水(纯水、冷却水、排水)、电、气(大宗 气体、特殊性气体、压缩空气、真空及排气)、化(化学品供应系统1等之配线、配管丁程。在二次配系统工程 Data 中．欲获得正确的各机台资讯．包括用量、管径、种类等，T艺设备资讯管理系统(DMS：ToolMaaage— Bent 描述．以为厂务工程和设备工程人员规划及使用之参考。 Market)高科技产业工艺设备二次配(HOOKUP)DMS 关键词：上市时机(TimeTo 91)stract：Theand ofdata in svs№m is the raanagement descdptloaapplication h‘mkup ofutilitiesandfor design equipment personnel engineering Keywords：Data Process UtilitiesTimetomanet managementsystemHookup equipment 一、二次配工程之规划执行 (1)规划与执行内窖 二次配工程是洁净室建造完成后于：[艺设备移人生产区域时所配合执行的配电、配气、配水或其它厂 务系统的连接工程．基本上是属于所有建厂工程的最后一道施工工程．此施工时程是依设备搬迁计划而配 合执行，规划内容有： 1、设备搬迁程序及时程之拟订 184— 2、_丁艺设备定位位置标示 3、二次配之空间规划及执行二次配各项工程项日 4、现场环境勘查 5、现场施工图(Shopdrawiag)绘制 6、概念设计和细部设计 (2)概念设计 二次配工程设计可分概念设计、细部设计。概念设计之规划程序为：①工艺设备资料管理②二次配系 统整合③工艺设备动力分配表③工艺设备配管流程图⑤空间规划。 Data ①T艺设备资料管理：含机台种类、数量、形式和供货商及设备置放位置等，此是为DMS(Tcml 12．艺设备资料管理系统)重点所在。 ManagementSystem ②二次配系统整合：有关制程机台及附属设备、厂务系统、各系统界面以及安全系统之搭配等均属之。 如图I所示。 棱台及附詹段慵 麻耢秉艟 各；i；航界面 安全幕鞔 Fire fighting Breathing盯 Bulk g— s脚gBses