堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书.pdf

气体质量流量控制器（流量计） S48 300/HMT 使用说明书(Ver.2.0) 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目 录 1、概述 1 2、术语 符号 2 3、工作原理 5 4、技术指标 7 5、 产品安装 8 6、使用方法和操作步骤 16 7、数字通讯功能使用方法和操作 18 8、通讯协议编码格式 20 9、警告和注意 25 10、故障判断和处理 28 附录一：通信指令集 31 附录二： 标定和不同气体的换算 34 1、概述 本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布， 造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所 以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。 1.1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行 业的气流测量与控制。 1.2 质量流量控制器和质量流量计 质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量 控制两种功能。 质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流 控制功能。 1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点 ☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国 内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处 理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小 等特点。 ☆ RS232/485串口， Modbus （RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强， 易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。 1 ☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。 气阻较小，工作压力范围宽。 ☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性 强。 ☆可任意角度安装。 ☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 配合MT-50或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。 型式批准证书：2011F215-11 执行 Q/CYHMT001-2011 企业标准 许可证编号：京制号 2、术语 符号 2.1 质量流量 以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将换算 成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即mL/min （SCCM行业标准）, 升/分钟即L/min （SLM行业标准）。 标准状态：气体温度 273.15K (0℃)，气压 101325Pa(1atm)。 2.2 F.S. (Full Scale) 表示满量程值 2.3 准确度 2 满量程精度：控制器示值与标准器测量的实际值之差与满量程（F.S.）实际 值相比的百分比值。如：±0.3% F.S.(带后缀F.S.)。 2.4 标定条件 标准状态下，氮气N2标定。如果某质量流量计标定为其它种类气体，则是经 过换算，而成为所标定的气体在标准状态下用 体积/分种 表示的质量流量。 2.5 响应时间 当设定值发生阶跃变化（例：0100%），气体流量将跟随改变，经过一段时 间将达到相对最终稳态值的误差范围之内，经过的这段时间就叫响应时间。T98 是规定离最终稳定值相差±2% F.S. 的时刻。 2.6 工作压力范围与耐压 工作压力范围是指能保证控制器在全量程范围内正常稳定工作的最小到最大 的入口与出口压力差。 耐压是指控制器管路内压力相对安装环境（大气压）的安全不泄露的极限耐 受压力。 2.7 流动方向 气流流过流量控制器或流量计的方向。 由