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AE(Advanced Energy)直流电源
AE(Advanced Energy)直流电源
Pinnacle 系列产品
业界公认的 Pinnacle 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能,从而大大减少了工艺变化,提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。
优势:
●最低的运行和安装成本
●业界最快的弧反应时间
●可配置的弧反应参数
●最大的工艺效率
●精确的工艺控制
特点:
●最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ
●无需调节输出变压器
●4:1的阻抗范围
●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
●±0.1%的输出重复性
●Joule 模式——最优化的能量传送.
规格:
●输入电压:200/208、400或480VAC(±10%)、3Φ4线、50/60kHz
●功率因素:负荷>90%
●输出电压:低Z、标准Z或高Z
●输出极性:浮动默认值,具有正和负功能
●输出波纹电压:与输入线频有关,输出波纹电压分量<5%RMS
●输出功率重复精度:0.1%,从设计功率到10%到100%。
●负荷调整:±1%,输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的 负荷变化
●温度系数:>20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化<0.005%/℃
●模拟接口选项:37针绝缘,0至10VDC模拟。0/24VDC数字
37针,0至10VDC模拟,0/15VDC数字
37针,0至5VDC模拟,0/15VDC数字
●串行通信选项:RS-232,RS-422,RS-485(可选波特率高达57.6K)
AE Bus 协议
ASCⅡ协议(MDX和仿真)
Profibus(可选波特1.5或12MB)AE Bus协议
具有DeviceNet?选项
●输出功率接头:三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环
●输入功率接头:五个终端,DIN压缩接头
尺寸:133×483×639mm(高×宽×长)
●重量:29.5kg
Pinnacle? 6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW
Pinnacle Plus+系列
Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术,Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异。
优势:
●更高的沉积率与产品率
●薄膜均匀性和品质一流
●成弧造成的基材损坏减少
●成本更低
●系统整合容易
●极佳的工艺灵活性和宽容度
●重复性能
●在过度曲线上运行稳定
●吞吐量更高
●便于监控
●无与伦比的系统灵活性
特点:
●一个紧凑型封装
●频率调节范围为 5-350kHz
●占空比高达45%
●电压范围宽——单输出宽阻抗范围
●大功率运行
●基材温度低
●单输出(5kW 和 10kW 型号)
●用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)
●绝佳的弧控制
●反应性溅射闭环控制
规格:
●输出功率:5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出
●电压范围:325-650VDC,可选325-800VDC输出(宽Z)
●输出功率接头:五个终端、DIN压缩接头;最大电线尺寸:#6 AWG
●输出接头:两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头
●最大电流:15.4ADC;15.4ADC/输出;30.8ADC
●频率:5到350KHz,可变
●反向电压:工作电压的10%
●点火功能:最大1500VDC,正常1350VDC
●调节模式:功率、电压或电流
●交流线电压:200/208、400或480VAC
●电流:5KW:200/208VAC:标称值17A/Φ
400VAC:标称值8.5A/Φ
480VAC:标称值7.5A/Φ
5KW双输出/10KW单输出
200/208VAC:标称值35A/Φ
400VAC:标称值17A/Φ
480VAC:标称值15A/Φ
●尺寸:133×483×639mm(高×宽×长)
●重量:5KW:21.4kg;5/5、10KW:30kg
Pinnacle Plus+ 5KW、5/5KW、10KW
Pinnacle 3000系列
A
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