烘箱选型报告.doc

烘箱选型报告 1 项目名称 “星用大阵列和弹用长阵列CCD”研保项目 2 设备名称 烘箱 3 工艺技术及参数要求 烘箱在光刻工艺中主要是通过气体携带的热气流去除潮气和对某些有机聚合物膜预固化、坚膜等作用。 颗粒增加数：（0.5um ）30，（0.2um～0.5um ）100 氮气保护 可编程，温度最高可到250℃ 4 推荐生产（翻新）厂家、型号及参数 推荐生产厂家：YAMATO公司 型号：DE610 参数：加热方式：强制送风循环 温度范围：室温+30 ℃ -- +260 ℃ 温度调节精度：±0.3 ℃；温度分布精度：±2.5 ℃ 最高温度到达时间：约60分钟 5 选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。烘箱的生产厂家国内和国外都比较多，用途也是多元化的，从价格角度考虑，则把国内生产的烘箱放在首位，因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些，价格很低很多。但光刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度，所以要考虑国外产品。国外半导体净化烘箱主要有Blue M、Despatch和YAMATO等。 国产烘箱有无锡通泽电子技术有限公司TZ-JH-BS不锈钢净化红外烘箱，适宜高分辨率光刻之前烘、坚膜等工艺。超级净化产品，无灰尘产生。配合高等级净化匀胶室使用，也可单独使用。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特，极大减少了内腔热量的外传。箱门内外基本分离，外箱与内胆分离定位，所以在高温下外壳也不会发烫。采用数显温控系统，微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精确而稳定。可设定温度、时间。一经设定，加热过程自动进行，不需干预。其特点具有读数清晰、调节方便、控温精度高、安全可靠。超温报警并自动切断加热电源。箱体采用优质冷轧钢板，表面静电喷塑，涂层坚硬牢固，具有极强的防锈能力。工作室为进口304 不锈钢板，表面状态为镜面，圆角造型，无发尘材料，达到高净化标准。发热元件为远红外。发热效率高。热惯性小。烘箱装有进气口和排气口装置，便于调节控制保护气体流量。工作室内放有可调整位置（抽动）的2 层载物网板，功率2400 W。 美国的Blue M品牌146系列净化烘箱通过机械对流方式可以达到100级甚至10级的净化度；并设有大量的可用程序，可以用来对有机聚合物固化、潮气烘干以及其它多种工艺。大型量规的钢材外观、不锈钢腔体；外表都是不少于型16的钢材，4英寸厚的玻璃纤维绝缘层，用硅树脂作为门密封的材料；腔体是整块的增强304型不锈钢。这样的材料以及全焊接和密封的结构，保证了颗粒物净化要求；有工艺中产生的气体的排气系统，高级的循环高效微粒空气过滤器，可达到100级甚至10级的净化空间，所有过滤的空气不断的重复过滤以及封闭的结构，不会对净化厂房内的空气造成影响。Blue M146系列净化烘箱水平的热气流保证了烘箱在全负载的情况下的均匀性，所有的不锈钢的冷却旋管，都不会污染周围环境，可以用控制冷却水的方法来处理一些接近室温的操作。Blue M146系列净化烘箱具有长时间工作正当很小的加热元件，加热元时氧化铝瓷材料对净化环境不会产生影响。Blue M146系列净化烘箱应用的温度可达250℃，控制精度可达±0.5℃，均匀度在±1℃。Blue M146系列没有新产品，翻新公司也没有库存，供货期长，售后保障也有限。 美国Despatch公司LCC2-14净化烘箱，同样能通过高效过滤器100%的空气保证整个工艺过程中保持不低于100级的洁净度，而且有专门的仪表检测高效过滤器的压降，了解何时该更换过滤器；可以通氮气，降低氧含量；具有快速降温的冷凝水循环；而且两者都可以通过可编程的软件控制。Protocol Plus微型处理器使对烘箱的控制更方便。内外均为不锈钢材料，腔体内切痕都是连续熔焊的，保护腔体不受沾污；4英寸厚的绝缘层减少热散失；有可以编程设计的门锁，防止工艺过程中错误操作，门打开时会关掉加热器；温度的控制精度可达±0.5 °C， 100级的洁净度下，温度的均匀性是:±1℃在 100℃；±2°C 在 200℃；±3℃在260℃。功耗16kw。Despatch公司烘箱比较先进、自动化程度高，但存在的问题在于如果要求更高的洁净度就要牺牲温度的均匀性。LCC2-14N-3净化烘箱的报价为31,140美元。 日本YAMATO公司的DE610烘箱同样可以达到100级甚至10级洁净度，但因日本对中国的政策，提供给我们的只能达到100级。材料内腔是SUS304不锈钢，断热材料是剥离绒，外材是冷轧压延钢板，用三聚氰胺烧付涂装；耐热高效过滤器，对0.3微米的粒子有99.97%以上的捕获率，过滤器材