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MEMS光开关及主要工艺技术的研究.pdf
LASER
12 激光杂志)2001年第22卷第6期 JOURNAL(V01．22No．6．2001)
MEMS光开关及主要工艺技术的研究
罗元1，2张毅2黄尚廉1
(1重庆大学光电工程学院，重庆400044)(2重庆邮电学院，重庆400065)
提要：光开关是实现垒光网络的棱心技术之一，目前光开关采用的主要技术方案有MEMS、铁电液晶、气拖、热光、全息、声光、
成墩的关键。
关■词：光开关，全光网络．MEMS
andits
ResearchonMEMS switcheskeyprocesstechnololy
optical
LouYuanl,2 Yi2
27Jang HuangShanglian‘
(1Department 400044)
of 400065)
(2ChnogqingUnive☆ityPosts＆Teko㈣ⅢⅢions，Choogqing
one areaeveral df
switchi5 ofthecore ofAON(A1l—OpaldNetwork)Nowthere kinds
Abstract：Oprical to：hnolngles
makeoptica】switches，stlch础MEMs(MicroElectroMechanicalS3*t∞u)，ferrodectrlcliquid
and∞On becameofits
animportanttechnology
Acou5to．OptlcstTbermo·capilkrityAHnngthemMEMSis
levelsadcan scaleInthis aridre啦ch switch
bemanufacturinginlargepaper．thetype．characteristics
ofMEMSoptical
andthe arediscussed．TheProcess considered∞theofsuccess
proce鹤techmlngies technologi签are key
switch．AON．MEMS
Key帅tdBlOptid
大，并存在损耗不均衡性，但系统串扰小、消光比大，开
1 MEMS光开关类型、特点及研究现状
关具有偏振无关、波长无关性。
MEMS光开关通常是采用在半导体基片上构造 美国朗讯贝尔实验室的“跷跷板”光开关是世界第
2D或3D徽反射镜阵列，通过反射镜的升降或旋转完
成开关动作，可分为滑门型和转镜型。分别如图2、图3
所示。
徽透镜光开关也是一类重要的MEMS光开关，其关和微镜微触动开关；加利福尼亚大学洛杉机分校的
原理是通过透镜的移动实现光束的移动，完成开关动
作，如图4所示，图5则示出了一个由VCSEL(垂直腔
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