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2015-08-15 发布于重庆
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微细加工技术在国内外发展趋势的研究.pdf

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!#$%’ (#)*+, - 综述微细加工技术在国内外发展趋势的研究 - 王军（， /01.11 ）广东轻工职业技术学院广东广州 - ：， !!# ，、摘要研究了国内外微细加工技术的发展状况基于器件的微细加工技术提出了在低电位微电流密度下电化学钝化效应基础上，，用高频振动效应消除钝化用与高频振动同频同步的窄脉冲电流，，。电解作用去除机体材料实现电解复合微细加工这是微细加工技术的新构想及发展趋势：!!# - - - 关键词器件高频振动窄脉冲电流电解复合微细加工 !# $#%#’()*+ !,#*- ’. /)0,’ 2 (,’0#11)*+ !#0*’’+2 34 5’6# 3*- 78’3,- 3456 789 （689:;)9: 9;8,+*= #$?9%$’ @)’’#:# ，689:A?)8/01.11 ，@B5 ） $%’()*’ ：9 *#,#*$? )C +?# ;#D#’)%9: +*#9; )C E%$*) 2 *)$#,,%9: +#$?9)’):= 9; F,%9: )9 +?# G%$*) 2 *)$#,,H %9: +#$?9)’):= )C EIE! ，J# ,8::#,+ +?+ 89;#* +?# ’)J )+#9+%’ 9; +?# #CC#$+ )9 ,,%D%+= )C #’#$+*)H $?#G%$’ C+#* E%$*) 2 $8**#9+ ;#9,%+= ，J# $9 8,# +?# ?%:? 2 C*#K8#9$= D%F*+%)9 #CC#$+ +) *#’#,# +?# ,,%D%+= 9; 8,# +?# 9**)J 8’,# $8**#9+ *)’# )C #’#$+*)’=+%$ , J#’’ , +?# ?%:? C*#K8#9$= D%F*+%)9 C)* *#G)D%9: F);= G+#*%’L ?%, $9 $$)G’%,? +?# G%$*) 2 *)$#,,%9: )C $)G)89; #’#$+*)’=,%, J?%$? %, ’,) 9#J $)9$#+ 9; ;#D#’)%9: +*#9; )C G%$*) 2 *)$#,,%9: +#$?9)’):=L +,-./(0 ：EIE! ;#D%$#, ；B%:? 2 C*#K8#9$= M%F*+%)9 ；5**)J N8’,# @8**#9+ ；E%$*) 2 *)$#,,%9: )C @)G)89; I’#$+*)’=,%, ，，（、、）现代工业的发展要求在有限空间内产品具有多制版电铸注塑可以对许多